專(zhuān)注于質(zhì)量控制和不斷增長(zhǎng)的工業(yè) 4.0推動(dòng)了 3D測(cè)量市場(chǎng)的增長(zhǎng)。3d光學(xué)表面輪廓儀器能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率,，測(cè)試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),，主要用于質(zhì)量控制和檢測(cè)應(yīng)用,。在汽車(chē)、建筑和建筑,、醫(yī)療,、半導(dǎo)體和電子、能源和電力,、重型機(jī)械,、采礦等領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。

SuperViewW1光學(xué)3d表面輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量,。是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器,。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能,；

2）測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦,、自動(dòng)找條紋,、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能；

3）測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量,、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能,；

4）分析中提供校平、圖像修描,、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

SuperViewW1 3d光學(xué)表面輪廓儀器的重建算法能自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn),，在硬件系統(tǒng)的配合下,，分辨率可達(dá)0.1nm?？梢詼y(cè)到12mm,，也可以測(cè)到更小的尺寸，XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm,，局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別,，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um，Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍,，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別,，因此可測(cè)非常微小尺寸的器件；也支持拼接功能,，將測(cè)量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,，拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um,。在半導(dǎo)體等超精密加工行業(yè)中有著重要作用,。

如半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域主要是檢測(cè)硅片的表面粗糙度，也是采用從批量硅片中抽若干片進(jìn)行檢測(cè)的方式進(jìn)行,，在抽檢的硅片上抽點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè),，主要需求參數(shù)為粗糙度，其次為臺(tái)階高,。

晶圓IC減薄后的粗糙度檢測(cè)