SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀檢測設(shè)備是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器，主要對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度,、粗糙度、波紋度,、腐蝕情況,、孔隙間隙、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能,；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能,；

4）分析中提供校平,、圖像修描、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

性能特色

1,、高精度、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù),、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),，保證測量精度高；

2）隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上大部分振動,，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復(fù)性,；

2,、一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作，無須切換,，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計,，實現(xiàn)了快速批量測量的功能；

2）可視化窗口,，便于用戶實時觀察掃描過程,；

3）結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程,；

4）幾何分析,、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析五大功能模塊齊全；

5）一鍵分析,、多文件分析,，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析,，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能,；

6）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達300余種2D、3D參數(shù),。

3,、精密操縱手柄

集成X、Y,、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦、找條紋等測量前工作,。

4,、雙重防撞保護措施

除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器,，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時,，儀器自動進入緊急停止?fàn)顟B(tài)，最大限度的保護儀器,，降低人為操作風(fēng)險,。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機,，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,。

SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀檢測設(shè)備以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度,、輪廓等一百余項參數(shù),。非接觸高精密測量不會劃傷甚至破壞工件，對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu),，可以快速而精確的得到理想的測量結(jié)果,。