加工中心激光干涉儀常用于數(shù)控機(jī)床精度檢測(cè)和補(bǔ)償。中圖儀器SJ6000激光干涉儀件可以將線性測(cè)量結(jié)果生成誤差補(bǔ)償表,，該表涵蓋了各個(gè)測(cè)量點(diǎn)的補(bǔ)償值,，運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)制造商允許通過(guò)修改運(yùn)動(dòng)軸的補(bǔ)償值來(lái)消除該運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差，精確的補(bǔ)償，可以有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差,。具有測(cè)量精度高,、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快,、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)：SJ6000

產(chǎn)品名稱：SJ6000激光干涉儀

穩(wěn)頻方式：激光熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

線性測(cè)量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測(cè)量距離：（0-80）m（無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件）

角度測(cè)量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測(cè)量分辨力：1nm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50KHz

預(yù)熱時(shí)間：≤6分鐘

工作溫度范圍：（0-40）℃

環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%

主要特點(diǎn)：應(yīng)用范圍廣,、測(cè)量精度高,、操作方便

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋：更多詳細(xì)產(chǎn)品信息，請(qǐng)聯(lián)系我們獲取

SJ6000加工中心激光干涉儀集光,、機(jī),、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高速干涉信號(hào)采集,、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測(cè)量速度,，以及納米級(jí)的分辨率,；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償,；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),，支持中文、英文和俄文語(yǔ)言,，友好的人機(jī)界面,、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑?jiǎn)潔化的記錄管理,。

SJ6000激光干涉儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度,、直線度,、垂直度、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量,。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),，以及進(jìn)行位移,、速度、加速度,、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。