SJ6000國內(nèi)激光干涉儀是高精度,、高靈敏度的測量儀器,，集光、機,、電,、計算機等技術(shù)于一體，可實現(xiàn)線性測長,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下,，還可以實現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移,、加速度,、速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,，如振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號：SJ6000

產(chǎn)品名稱：SJ6000激光干涉儀

穩(wěn)頻方式：激光熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測量距離：（0-80）m（無需遠(yuǎn)距離線性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測量分辨力：1nm

動態(tài)采集頻率：50KHz

預(yù)熱時間：≤6分鐘

工作溫度范圍：（0-40）℃

環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃,，環(huán)境濕度：0-95%

主要特點：應(yīng)用范圍廣、測量精度高,、操作方便

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

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SJ6000國內(nèi)激光干涉儀產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高速干涉信號采集,、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實現(xiàn)最高4m/s的測量速度,，以及納米級的分辨率,；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償,；采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),，支持中文、英文和俄文語言,，友好的人機界面,、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑啙嵒挠涗浌芾怼?/p>