在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領(lǐng)域中，在同等放大倍率下,，非接觸光學(xué)表面3d輪廓儀的測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡,。

中圖儀器SuperViewW1非接觸光學(xué)表面3d輪廓儀由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng),，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成,。其重建算法自動濾除樣品表面噪點,，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm,。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號：SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng)：1024×1024

光學(xué)ZOOM：0.5×,，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×,，（2.5×,，5×，20×,，50×,，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm,，電動,、手動同時具備，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm,，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調(diào)整：±5°手動

粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm

臺階高測量：準(zhǔn)確度0.3%,，重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析,、測量速度快,、效率高

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

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產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能,；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能,；

4）分析中提供校平,、圖像修描、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

SuperViewW光學(xué)3d輪廓儀能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度,、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。