中圖儀器3D粗糙度輪廓儀采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可以直接從電腦上實(shí)時(shí)視頻窗口觀察樣品表面形貌,，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大,，觀察更加方便,。其重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下,，分辨率可達(dá)0.1nm,。

可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn),。

EPSI重建算法

高速掃描的FVSI重建算法

中圖儀器3D粗糙度輪廓儀是以白光干涉技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器,。其載物臺(tái)尺寸為320*200mm（可定制），行程為140*110mm（可定制）,；測(cè)量的Z向范圍可達(dá)10mm（2.5X鏡頭）,，Z向的最高精度可達(dá)0.1nm。

【測(cè)量小尺寸樣品時(shí)】可以測(cè)到12mm,，也可以測(cè)到更小的尺寸,，XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm，局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別,，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,，Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍,，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別，因此可測(cè)非常微小尺寸的器件,；

【測(cè)量大尺寸樣品時(shí)】支持拼接功能,，將測(cè)量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致,，可達(dá)0.1um,；

應(yīng)用

在3C領(lǐng)域，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量藍(lán)寶石屏,、濾光片、表殼等表面粗糙度,；

在LED行業(yè),，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度,；

在光纖通信行業(yè),，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量光纖端面缺陷和粗糙度；

在集成電路行業(yè),，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度,；

在EMES行業(yè)，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量臺(tái)階高度和表面粗糙度,；

在軍事領(lǐng)域,，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度；

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