中圖儀器光學(xué)表面輪廓檢測儀的重建算法自動濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下,，分辨率可達(dá)0.1nm,。

SuperViewW1 光學(xué)3D表面輪廓儀的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì)，既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動，同時內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動,，確保儀器在車間也能正常工作,。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號：SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng)：1024×1024

光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×,，1×可選）

干涉物鏡：10×,，（2.5×，5×,，20×,，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm,，行程140×110mm,，電動,、手動同時具備，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm,，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可測樣品反射率：0.05%-100%

水平調(diào)整：±5°手動

粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm

臺階高測量：準(zhǔn)確度0.3%,，重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn)：非接觸式無損檢測，一鍵分析,，測量速度快,、效率高

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋：更多詳細(xì)產(chǎn)品信息，請聯(lián)系我們獲取

SuperViewW1光學(xué)表面輪廓檢測儀載物臺尺寸為320*200mm（可定制）,，行程為140*110mm（可定制）,；測量的Z向范圍可達(dá)10mm（2.5X鏡頭），Z向的最高精度可達(dá)0.1nm,。

【測量小尺寸樣品時】可以測到12mm,，也可以測到更小的尺寸,，XY載物臺標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm,，局部位移精度可達(dá)亞微米級別,，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,，Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍,，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級別,，因此可測非常微小尺寸的器件；

【測量大尺寸樣品時】支持拼接功能,，將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,，可達(dá)0.1um；

SuperViewW1 光學(xué)3D表面輪廓儀采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,，可以直接從電腦上實(shí)時視頻窗口觀察樣品表面形貌,，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰,，圖像更大,，觀察更加方便。

深圳市中圖儀器股份有限公司是國家高新技術(shù)企業(yè),，致力于精密測量,、計(jì)量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,。歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐，專業(yè)覆蓋面廣,，專項(xiàng)技術(shù)能力強(qiáng),，具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力。