中圖儀器SuperViewW系列三維光學(xué)表面輪廓儀專用于超精密加工領(lǐng)域，分辨率可達(dá)0.1nm,，屬于3D測量領(lǐng)域高精度檢測儀器之一,。具有測量精度高、功能全面,、操作便捷,、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個精密器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi),，確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量,。

SuperViewW系列三維光學(xué)表面輪廓儀采用經(jīng)國家計(jì)量檢測研究院校準(zhǔn)的臺階高標(biāo)準(zhǔn)片作為測量標(biāo)準(zhǔn)件，采用該標(biāo)準(zhǔn)片對儀器的檢測精度和重復(fù)性進(jìn)行驗(yàn)收,，其中臺階高標(biāo)準(zhǔn)片高度在4.7um左右,，測量精度要求為<0.75%，重復(fù)精度要求<0.1%（1σ）（測量15次獲取的數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差）,，主要用于對樣品表面的2D,、3D形貌進(jìn)行測量，主要測量參數(shù)為粗糙度,、臺階高,、幾何輪廓等。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號：SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng)：1024×1024

光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×,，1×可選）

干涉物鏡：10×,，（2.5×，5×,，20×,，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm,，行程140×110mm,，電動、手動同時(shí)具備,，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm,，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調(diào)整：±5°手動

粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm

臺階高測量：準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn)：非接觸式無損檢測,，一鍵分析,、測量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

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SuperViewW系列光學(xué)3d表面輪廓儀支持自動聚焦功能,，只需將Z向調(diào)到貼近樣品表面（小于鏡頭工作距離），選擇好聚焦范圍,，即可自動聚焦到樣品清晰成像表面并獲取干涉條紋,。

特點(diǎn)

一是非接觸高精密測量，不會劃傷甚至破壞工件,；

二是測量速度快,，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測量；

三是不必作探頭半徑補(bǔ)正,，光點(diǎn)位置就是工件表面測量的位置,；

四是對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測量結(jié)果,。

深圳市中圖儀器股份有限公司成立十多年來,，一直堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐,，在微納米運(yùn)動設(shè)計(jì)制造,、微納米顯微測量三維重建、顯微測量3D形貌分析,、大尺寸三維空間測量,、精密傳感測頭、光柵導(dǎo)軌測控等眾多技術(shù)領(lǐng)域形成了設(shè)計(jì),、制造優(yōu)勢,，具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力。