中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔,、用途多樣，能夠測(cè)量不同的材質(zhì),、結(jié)構(gòu),、表面粗糙度和波度，涵蓋所有類型的表面形貌,。它的多功能性能夠滿足廣泛的形貌測(cè)量應(yīng)用,。

白光干涉儀應(yīng)用操作步驟：

1. 將樣品放置在夾具上,，確保樣品狀態(tài)穩(wěn)定,；

2. 將夾具放置在載物臺(tái)上；

3. 檢查電機(jī)連接和環(huán)境噪聲,，確認(rèn)儀器狀態(tài),；

4. 使用操縱桿調(diào)節(jié)三軸位置，將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋,；

5. 完成掃描設(shè)置和命名等操作,；

6. 點(diǎn)擊開始測(cè)量（進(jìn)入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀察一會(huì)）；

7. 進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,，點(diǎn)擊“去除外形",，采用默認(rèn)參數(shù)，點(diǎn)擊應(yīng)用獲取樣品表面粗糙度輪廓,；

8. 進(jìn)入分析工具模塊,，點(diǎn)擊參數(shù)分析，直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù),，點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)可更換參數(shù)標(biāo)準(zhǔn),，增刪參數(shù)類型；

9. 如果想獲取線粗糙度數(shù)據(jù)，則需提取剖面線,；

10. 進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,，點(diǎn)擊“提取剖面"圖標(biāo)，選擇合適方向剖面線進(jìn)行剖面輪廓提??；

11. 進(jìn)入分析工具界面，點(diǎn)擊“參數(shù)分析"圖標(biāo),，點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn),，勾選所需線粗糙度相關(guān)參數(shù)，即可獲取線粗糙度Ra數(shù)據(jù),。

白光干涉儀應(yīng)用

場(chǎng)景一：超光滑的弧形表面

上圖是一款旋轉(zhuǎn)拋物面零件,，用于微小位移和角度檢測(cè)，其表面具有超光滑,、高反,、凹面弧形特征，針對(duì)其凹面弧形的檢測(cè)需求,，現(xiàn)有的顯微測(cè)量?jī)x器中,，原子力顯微鏡和共聚焦顯微鏡，均分別因有損測(cè)量或分辨率不夠的原因而排除,，只有以白光干涉為原理的光學(xué)3D表面輪廓儀,，能同時(shí)滿足無損、超高分辨率,、耐高反等條件,。

針對(duì)完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時(shí)滿足的高精度、大掃描范圍的需求,，中圖儀器SuperView W1的復(fù)合型EPSI重建算法,，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn),。在自動(dòng)拼接模塊下,，只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn)，即可自動(dòng)掃描,， 重建其超光滑的表面區(qū)域,，不見一絲重疊縫隙。

場(chǎng)景二：粗糙的特征表面

上圖是涂覆在電極棒的催化劑表面全景圖,，整體尺寸在7mm左右,，中心的催化劑區(qū)域呈低反射率特點(diǎn)，而圓環(huán)外呈高反射率特點(diǎn),，整體的輪廓尺寸和微觀的輪廓起伏反映了涂覆的質(zhì)量,。

根據(jù)客戶精度要求,，可將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法，并可依據(jù)表面粗糙程度,，選擇不同步距進(jìn)行速度調(diào)節(jié),。