當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測量儀>>白光干涉儀>> SuperView W1雙物鏡白光干涉儀
中圖儀器推出的SuperView W1白光干涉儀可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,,從納米到微米級(jí)工件的微觀幾何輪廓,、粗糙度、平整度,、曲率等,,可廣泛應(yīng)用于3C電子玻璃屏及其精密配件、汽車零部件,、半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、光學(xué)加工、微納材料及制造,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航天,、高校科研院所等領(lǐng)域中,。
在少數(shù)需要檢測超精密器件表面全貌的場景中,,SuperView W1雙物鏡白光干涉儀的自動(dòng)拼接功能,能快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域,、高精度的測量,。
如一款旋轉(zhuǎn)拋物面零件,其表面有高反,、超光滑,、凹面弧形特征,用于微小位移和角度檢測,。針對(duì)其凹面弧形的檢測需求,,原子力顯微鏡和共聚焦顯微鏡這兩個(gè)顯微測量儀器中,均分別因有損測量或分辨率不夠的原因而排除,,只有以白光干涉為原理的光學(xué)3D表面輪廓儀,,能同時(shí)滿足無損、超高分辨率,、耐高反等條件,。
針對(duì)完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時(shí)滿足的高精度、大掃描范圍的需求,,中圖儀器SuperView W1雙物鏡白光干涉儀的復(fù)合型EPSI重建算法,,解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn),。在自動(dòng)拼接模塊下,,只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn),即可自動(dòng)掃描,重建其超光滑的表面區(qū)域,,不見一絲重疊縫隙,。
深圳市中圖儀器科技有限公司致力于精密計(jì)量、檢測儀器設(shè)備的研發(fā),、生產(chǎn)和銷售?,F(xiàn)擁有2千平方米的現(xiàn)代化科研辦公場地及3千平方米的精密加工、裝配基地,,配備了科研設(shè)施和精密加工設(shè)備,,按照ISO9001標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行生產(chǎn),為客戶提供高質(zhì)量產(chǎn)品,。