激光干涉儀采用氦氖激光器作為光源。其精度高,，抗干擾能力強(qiáng),，空氣湍流、熱波動等影響甚微,，因此降低了對環(huán)境條件的要求,，使它不僅能用于實(shí)驗(yàn)室，還可在車間條件下測量大距離用,。激光干涉?zhèn)鞲衅骺蓱?yīng)用于精密長度計(jì)量,，如線紋尺和光柵的檢定，量塊自動測量,，精密絲桿動態(tài)測量等,，還可用于工件尺寸、坐標(biāo)尺寸的精密測量中,。

中圖儀器推出的SJ6000便攜式激光干涉儀具有測量精度高,、測量范圍大、測量速度快,、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),。能輕松實(shí)現(xiàn)運(yùn)動導(dǎo)軌的快速精確測量，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償,，以及實(shí)現(xiàn)位移,、速度、加速度以及振幅頻率的動態(tài)測量與分析,。

主要特點(diǎn)

1,、方便攜帶（無控制電箱設(shè)計(jì)，全套系統(tǒng)總重小于15kg）

2,、安裝簡便（兩點(diǎn)式調(diào)光,，無需三角架）

3,、測量效率高（一次裝調(diào)5-6個參數(shù)同時測出）

4,、高效補(bǔ)償（空氣溫度，材料溫度,，空氣壓力）

SJ6000便攜式激光干涉儀通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,，可以實(shí)現(xiàn)對直線度、垂直度,、角度,、平面度、平行度等多種幾何精度的測量,。在相關(guān)軟件的配合下,，還可以對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動態(tài)性能檢測,，如可以測量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度,、微量位移精度等動態(tài)參量,，可以進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析,，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等，精度高且效率業(yè)高,，而且及時處理數(shù)據(jù),，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。