一、產(chǎn)品介紹

SJ6000國(guó)產(chǎn)激光干涉儀集光,、機(jī),、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高速干涉信號(hào)采集,、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測(cè)量速度,，以及納米級(jí)的分辨率,；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),，支持中文,、英文和俄文語言，友好的人機(jī)界面,、向?qū)降牟僮髁鞒?、?jiǎn)潔化的記錄管理。

二,、國(guó)產(chǎn)激光干涉儀線性測(cè)量

線性測(cè)量原理 —— 邁克爾遜干涉原理

線性測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖

1,、從SJ6000激光干涉儀主機(jī)出射的激光束（圓偏振光）通過分光鏡后，將分成兩束激光（線偏振光）,；

2,、兩束激光分別經(jīng)由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光（紅色線條）返回，通過分光鏡后進(jìn)行疊加,，由于兩束激光頻率相同,、振動(dòng)方向相同且相位差恒定，即滿足干涉條件,；

3,、角錐反射鏡B每移動(dòng)半個(gè)激光波長(zhǎng)的距離，將會(huì)產(chǎn)生一次完整的明暗干涉現(xiàn)象,。測(cè)量距離等于干涉條紋數(shù)乘以激光半波長(zhǎng),。

三、線性測(cè)量配置及使用方法

線性測(cè)量（線性軸位置精度測(cè)量的簡(jiǎn)稱）配置主要由SJ6000主機(jī),、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元,、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成,，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測(cè)量,。其中，線性測(cè)量包括定位精度測(cè)量,、重復(fù)定位精度測(cè)量和設(shè)備反向間隙測(cè)量等,。

SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件可以將線性測(cè)量結(jié)果生成的誤差補(bǔ)償表，該表涵蓋了各個(gè)測(cè)量點(diǎn)的補(bǔ)償值,，運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運(yùn)動(dòng)軸的補(bǔ)償值來消除該運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差,，補(bǔ)償，可以有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差,。

線性測(cè)量中目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標(biāo)采集和基于時(shí)間的目標(biāo)采集兩種方式,，普遍采用基于位置的目標(biāo)采集方式，即：被測(cè)運(yùn)動(dòng)軸需設(shè)定若干個(gè)等距的定位點(diǎn),，當(dāng)運(yùn)動(dòng)軸移動(dòng)到設(shè)定的定位點(diǎn)時(shí),，需設(shè)置停留時(shí)間,，以供SJ6000測(cè)量軟件進(jìn)行當(dāng)前點(diǎn)的數(shù)據(jù)采集,。

四,、線性測(cè)量應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo),、機(jī)器人,、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備,、線性位移平臺(tái),、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線性測(cè)量,。

五,、線性測(cè)量附件

輕型線性鏡組 —— 特殊場(chǎng)合的應(yīng)用

輕型線性鏡組的光路原理構(gòu)建圖

輕型線性鏡組包括縮光鏡和小角錐反射鏡，其中小角錐反射鏡的重量為8g,，可以直接吸附在被測(cè)物體上,，降低線性反射鏡的重量影響。

六,、主要應(yīng)用場(chǎng)合

1,、線性反射鏡的重量可能影響到被測(cè)軸系的機(jī)械性能或精度；

2,、線性反射鏡的尺寸遇到較為困難的裝夾場(chǎng)合,；