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當(dāng)前位置：深圳市中圖儀器股份有限公司>>激光測量儀>>激光干涉儀>> SJ6000機(jī)床激光干涉儀
一,、產(chǎn)品介紹
機(jī)床激光干涉儀以光波為載體,，其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義，且可以溯源至國家標(biāo)準(zhǔn),，是高精度,、高靈敏度的測量儀器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,。
SJ6000激光干涉儀集光,、機(jī)、電,、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí),；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng),、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測量速度,，以及納米級的分辨率,；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償,；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),，支持中文、英文和俄文語言,，友好的人機(jī)界面,、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑啙嵒挠涗浌芾怼?/span>
二,、產(chǎn)品特點(diǎn)
SJ6000激光干涉儀具有測量精度高,、測量范圍大、測量速度快,、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,，可實(shí)現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移,、速度,、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,，如振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。
三,、機(jī)床激光干涉儀產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組如下圖所列,，依次為線性鏡組、角度鏡組,、直線度鏡組,、垂直度鏡組、平面度鏡組,、自動精密轉(zhuǎn)臺,。
主要鏡組圖
其中,，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成,。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度,、重復(fù)定位精度,、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償,。
四,、配件與證書
序號 | 名稱 | 明細(xì) | 備注 |
1 | SJ6000主機(jī) | 1臺，配云臺,、電源適配器 | 標(biāo)配 |
2 | 通用三腳架 | 1個(gè)，配便攜包 | |
3 | 筆記本電腦 | 1臺,，配測量軟件 | |
4 | 環(huán)境補(bǔ)償單元 | 環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)：1個(gè),，內(nèi)置空氣濕度和大氣壓力傳感器 | |
空氣溫度探頭：1個(gè)，線長5米 | |||
材料溫度探頭：3個(gè),，線長5米 | |||
5 | 標(biāo)配附件 | USB線2根 | |
水平儀1個(gè),，磁性表座2個(gè) | |||
輔助安裝塊1塊，安裝柱4節(jié) | |||
6 | 線性鏡組 | 線性干涉鏡,、線性反射鏡,，各1個(gè)；夾緊孔座2個(gè) | |
7 | 便攜式拉桿箱 | 1個(gè),，外尺寸：613mm×460mm×230mm | |
8 | 三坐標(biāo)測頭夾具 | 1套 | 選配 |
9 | 對角線測量套裝 | 1套 | 選配 |
10 | 可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡 | 1個(gè) | 選配 |
11 | 輕型線性鏡組 | 小角錐反射鏡,、縮光鏡，各1個(gè) | 選配 |
12 | 角度鏡組 | 角度干涉鏡,、角度反射鏡,，各1個(gè) | 選配 |
13 | 平面度鏡組 | 180mm、360mm可調(diào)基板,，各1個(gè),；平面度旋轉(zhuǎn)鏡2個(gè) | 選配 |
14 | 短直線度鏡組 | 短距離直線度干涉鏡、短距離直線度反射鏡,，各1個(gè) | 選配 |
15 | 長直線度鏡組 | 長距離直線度干涉鏡,、長距離直線度反射鏡，各1個(gè) | 選配 |
16 | 直線度附件 | 大角錐反射鏡,、90度轉(zhuǎn)向鏡,、底座、M8接頭,，各1個(gè) | 選配 |
17 | 垂直度鏡組 | 光學(xué)直角尺,、90°轉(zhuǎn)向鏡輔助安裝塊,，各1個(gè) | 選配 |
18 | 自動精密轉(zhuǎn)臺 | 1臺，配卡盤,、USB數(shù)據(jù)線,、電源適配器、藍(lán)牙工具 | 選配 |
19 | 正交觸發(fā)盒 | 1臺,，配電源適配器,、觸發(fā)數(shù)據(jù)線 | 選配 |
20 | 工作服 | 夏、冬實(shí)驗(yàn)室工作服,，各1件 | 選配 |
五,、注意事項(xiàng)
對角線測量套裝配置需求：對角線測量套裝＋可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡
平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組
長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組
直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
