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當(dāng)前位置：深圳市中圖儀器股份有限公司>>激光測(cè)量?jī)x>>激光干涉儀>> SJ6000機(jī)床激光干涉儀
一,、產(chǎn)品介紹
機(jī)床激光干涉儀以光波為載體,，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),，是高精度,、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,。
SJ6000激光干涉儀集光,、機(jī)、電,、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí),；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高速干涉信號(hào)采集,、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測(cè)量速度,，以及納米級(jí)的分辨率,；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償,；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),，支持中文、英文和俄文語(yǔ)言,，友好的人機(jī)界面,、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑?jiǎn)潔化的記錄管理,。
二,、產(chǎn)品特點(diǎn)
SJ6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大,、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度,、直線度,、垂直度、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量,。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),，以及進(jìn)行位移、速度,、加速度,、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
三,、機(jī)床激光干涉儀產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,，依次為線性鏡組,、角度鏡組,、直線度鏡組、垂直度鏡組,、平面度鏡組,、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。
主要鏡組圖
其中,，線性鏡組為標(biāo)配,，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成,?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度,、反向間隙的測(cè)量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
四,、配件與證書(shū)
序號(hào) | 名稱 | 明細(xì) | 備注 |
1 | SJ6000主機(jī) | 1臺(tái),，配云臺(tái)、電源適配器 | 標(biāo)配 |
2 | 通用三腳架 | 1個(gè),，配便攜包 | |
3 | 筆記本電腦 | 1臺(tái),，配測(cè)量軟件 | |
4 | 環(huán)境補(bǔ)償單元 | 環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)：1個(gè)，內(nèi)置空氣濕度和大氣壓力傳感器 | |
空氣溫度探頭：1個(gè),，線長(zhǎng)5米 | |||
材料溫度探頭：3個(gè),，線長(zhǎng)5米 | |||
5 | 標(biāo)配附件 | USB線2根 | |
水平儀1個(gè)，磁性表座2個(gè) | |||
輔助安裝塊1塊,，安裝柱4節(jié) | |||
6 | 線性鏡組 | 線性干涉鏡,、線性反射鏡，各1個(gè),；夾緊孔座2個(gè) | |
7 | 便攜式拉桿箱 | 1個(gè),，外尺寸：613mm×460mm×230mm | |
8 | 三坐標(biāo)測(cè)頭夾具 | 1套 | 選配 |
9 | 對(duì)角線測(cè)量套裝 | 1套 | 選配 |
10 | 可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡 | 1個(gè) | 選配 |
11 | 輕型線性鏡組 | 小角錐反射鏡、縮光鏡,，各1個(gè) | 選配 |
12 | 角度鏡組 | 角度干涉鏡,、角度反射鏡，各1個(gè) | 選配 |
13 | 平面度鏡組 | 180mm,、360mm可調(diào)基板,，各1個(gè)；平面度旋轉(zhuǎn)鏡2個(gè) | 選配 |
14 | 短直線度鏡組 | 短距離直線度干涉鏡,、短距離直線度反射鏡,，各1個(gè) | 選配 |
15 | 長(zhǎng)直線度鏡組 | 長(zhǎng)距離直線度干涉鏡、長(zhǎng)距離直線度反射鏡，各1個(gè) | 選配 |
16 | 直線度附件 | 大角錐反射鏡,、90度轉(zhuǎn)向鏡,、底座、M8接頭,，各1個(gè) | 選配 |
17 | 垂直度鏡組 | 光學(xué)直角尺,、90°轉(zhuǎn)向鏡輔助安裝塊，各1個(gè) | 選配 |
18 | 自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái) | 1臺(tái),，配卡盤(pán),、USB數(shù)據(jù)線、電源適配器,、藍(lán)牙工具 | 選配 |
19 | 正交觸發(fā)盒 | 1臺(tái)，配電源適配器,、觸發(fā)數(shù)據(jù)線 | 選配 |
20 | 工作服 | 夏,、冬實(shí)驗(yàn)室工作服,，各1件 | 選配 |
五,、注意事項(xiàng)
對(duì)角線測(cè)量套裝配置需求：對(duì)角線測(cè)量套裝＋可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡
平面度測(cè)量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
平行度測(cè)量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可
短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組
長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求：長(zhǎng)直線度鏡組＋垂直度鏡組
直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測(cè)量和垂直度測(cè)量
