一,、產(chǎn)品簡介

SuperView W1光學(xué)輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器,。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

SuperView W1光學(xué)輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工,、微納材料及制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,。可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等,，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn),。

二,、產(chǎn)品功能

1. 一體化操作的測量與分析軟件，操作無須進(jìn)行切換界面,，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量,，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測量功能,。

2. 測量中提供自動(dòng)多區(qū)域測量功能,、批量測量、自動(dòng)聚焦,、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化功能,。

3. 測量中提供拼接測量功能。

4. 分析中提供調(diào)整位置,、糾正,、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,，其中調(diào)整位置包括圖像校平,、鏡像等功能；糾正包括空間濾波,、修描,、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形,、標(biāo)準(zhǔn)濾波,、過濾頻譜等功能；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能,。

5. 分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度,、ISO25178面粗糙度,、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能；幾何輪廓分析包括臺(tái)階高,、距離,、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能,；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等,；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能,。

6. 分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，設(shè)置分析模板，結(jié)合測量中提供的自動(dòng)測量和批量測量功能,，可實(shí)現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能,。

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三、應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度,、粗糙度、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙、臺(tái)階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

四,、性能特色

1,、高精度、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù),、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng),，保證測量精度高；

2）*的隔振系統(tǒng),，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng),，消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中也能穩(wěn)定使用,，獲得高測量重復(fù)性,；

2、一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作,，無須切換，測量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì),，實(shí)現(xiàn)了快速批量測量的功能,；

2）可視化窗口，便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過程；

3）結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測量功能,，可自動(dòng)完成多區(qū)域的測量與分析過程,；

4）幾何分析、粗糙度分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全,；

5）一鍵分析,、多文件分析，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,，批量樣品一鍵分析,，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能；

6）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D,、3D參數(shù),。

3、雙重防撞保護(hù)措施

除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),，保護(hù)儀器,，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)。

4,、精密操縱手柄

集成X,、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺(tái)平移,、Z向聚焦、找條紋等測量前工作,。

5,、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī)，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,。

售后服務(wù)

設(shè)備質(zhì)保期

1）驗(yàn)收合格雙方簽定《產(chǎn)品驗(yàn)收報(bào)告》后12個(gè)月內(nèi),；

2）在質(zhì)保期內(nèi)發(fā)生的故障，其故障部分質(zhì)保期自修復(fù)之日起順延,。

售后服務(wù)內(nèi)容

1）質(zhì)保期內(nèi)：實(shí)行“三包",，用戶所購設(shè)備各部件發(fā)生非人為故障，我司免費(fèi)更換同種品牌不低于原價(jià)位,、規(guī)格,、型號(hào)的部件,。

2）質(zhì)保期后：我公司提供持續(xù)的優(yōu)惠服務(wù)和技術(shù)支持，設(shè)備出現(xiàn)故障需要修理時(shí),，所換零件按成本價(jià)收取,。軟件隨國家規(guī)程變更免費(fèi)升級，硬件優(yōu)惠升級,。

3）排故響應(yīng)時(shí)間：我司在接到報(bào)障信息后,，2小時(shí)內(nèi)回應(yīng)，我司通過電話,、郵件的方式指導(dǎo)買方排除故障,；若故障仍不能排除，將在72小時(shí)內(nèi)上門調(diào)試維修排故或用戶將儀器發(fā)回本公司維修,。