在晶圓制造前道過程的不同工藝階段點,，往往需要對wafer進(jìn)行厚度（THK）,、翹曲度（Warp）、膜厚,、關(guān)鍵尺寸（CD）,、套刻（Overlay）精度等量測，以及缺陷檢測等,；用于檢測每一步工藝后wafer加工參數(shù)是否達(dá)到設(shè)計標(biāo)準(zhǔn),，以及缺陷閾值下限，從而進(jìn)行工藝控制與良率管理,。半導(dǎo)體前道量檢測設(shè)備,，要求精度高、效率高,、重復(fù)性好,，量檢測設(shè)備一般會涉及光電探測、精密機械,、電子與計算機技術(shù),，因此在半導(dǎo)體設(shè)備中,，技術(shù)難度高,。

在wafer基材加工階段，從第一代硅,，第二代砷化鎵到第三代也是現(xiàn)階段熱門的碳化硅,、氮化鎵襯底都是通過晶錠切片、研磨,、拋光后獲得,，每片襯底在各工藝后及出廠前，都要對厚度,、翹曲度,、彎曲度、粗糙度等幾何形貌參數(shù)進(jìn)行系統(tǒng)量測,，需要相應(yīng)的幾何形貌量測設(shè)備,。

下圖為國內(nèi)某頭部碳化硅企業(yè)產(chǎn)品規(guī)范，無論是production wafer,，research wafer,，還是dummy wafer，出廠前均要對幾何形貌參數(shù)進(jìn)行量測,，以保證同批,、不同批次產(chǎn)品的一致性,、穩(wěn)定性，也能防止后序工藝由于wafer warpage過大,，產(chǎn)生碎片,、裂片的情況。

中圖儀器針對晶圓幾何形貌量測需求,，基于在精密光學(xué)測量多年的技術(shù)積累,，歷經(jīng)數(shù)載，自研了WD4000系列無圖晶圓幾何量測系統(tǒng),，適用于線切,、研磨、拋光工藝后,，進(jìn)行wafer厚度（THK）,、整體厚度變化（TTV）、翹曲度（Warp）,、彎曲度（Bow）等相關(guān)幾何形貌數(shù)據(jù)測量,，能夠提供Thickness map、LTV map,、Top map,、Bottom map等幾何形貌圖及系列參數(shù)，有效監(jiān)測wafer形貌分布變化,，從而及時管控與調(diào)整生產(chǎn)設(shè)備的工藝參數(shù),，確保wafer生產(chǎn)穩(wěn)定且高效。

晶圓制造工藝環(huán)節(jié)復(fù)雜,，前道制程所需要的量檢測設(shè)備種類多,、技術(shù)難度高, 因此也是所有半導(dǎo)體設(shè)備賽道中壁壘最高的環(huán)節(jié)。伴隨半導(dǎo)體制程的演進(jìn),，IC制造對于過程管控的要求越來越高,，中圖儀器持續(xù)投入開發(fā)半導(dǎo)體量檢測設(shè)備，積極傾聽客戶需求,，不斷迭代技術(shù),，WD4000系列在諸多頭部客戶端都獲得了良好反響!

千淘萬漉雖辛苦，吹盡狂沙始到金,。圖強鑄器,、精準(zhǔn)制勝，中圖儀器與中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)共同成長,。