智能檢測有兩大優(yōu)勢：一是更智能,、更精細(xì)、更高效,；二是人力成本更低,。生產(chǎn)線智能化將是制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級的重要發(fā)展趨勢，智能檢測技術(shù)也將廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動化,、航天,、電子等行業(yè)。

2023年2月23日,，工業(yè)和信息化部,、國家發(fā)展和改革委員會等七個部門聯(lián)合發(fā)布《智能檢測裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動計劃(2023-2025年)》中提到,，“智能檢測裝備作為智能制造的核心裝備，是“工業(yè)六基"的重要組成和產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)高級化的重要領(lǐng)域,，對支撐制造強國,、質(zhì)量強國和數(shù)字中國建設(shè)具有重要意義。"針對我國智能檢測裝備產(chǎn)業(yè)仍存在技術(shù)基礎(chǔ)薄弱,、創(chuàng)新能力不強,、供給不足等問題，中圖儀器堅持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ),，集光,、機、電,、信息技術(shù)于一體的技術(shù)團隊,，勇于創(chuàng)新，著力突破從微納米到百米測量的核心技術(shù),，堅持高質(zhì)量出品,，增強供給，打造質(zhì)量強國,。

勇于創(chuàng)新|中圖智能精密測量儀器著力突破核心技術(shù),，增強供給

1、融合創(chuàng)新檢測技術(shù),、新型制造工藝與前沿科技領(lǐng)域基礎(chǔ)理論,，研發(fā)生產(chǎn)一批前沿智能精密測量檢測裝備。

納米級精密測量儀器

VT6000共聚焦顯微鏡

VT6000共聚焦顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的光學(xué)檢測儀器,。它是以共聚焦技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

SuperViewW1白光干涉儀

SuperViewW1白光干涉儀用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的光學(xué)檢測儀器,。它是以白光干涉技術(shù)為原理,，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,，對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。

白光干涉儀和共聚焦顯微鏡的區(qū)別

百米級精密測量儀器

GTS激光跟蹤儀

GTS激光跟蹤儀主要用于百米大尺度空間三維坐標(biāo)的精密測量,，集激光干涉測距技術(shù)、光電檢測技術(shù),、精密機械技術(shù),、計算機及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計算理論于一體,，在大尺度空間測量工業(yè)科學(xué)儀器中具有高精度和重要性,，是同時具有μm級別精度、百米工作空間的高性能光電儀器,。激光跟蹤儀可用于尺寸測量,、安裝、定位,、校正和逆向工程等應(yīng)用,，是功能強大的計量檢測工具。廣泛應(yīng)用在各種大尺度空間精密測量領(lǐng)域,，如在航空航天領(lǐng)域?qū)︼w機零部件及裝配精度的測量,；在機床行業(yè)中對機床平面度、直線度,、圓柱度等的測量,；在汽車制造中對車型的在線測量；在制造中對運動機器人位置的精確標(biāo)定,。此外,，激光跟蹤儀還可以廣泛應(yīng)用到造船、軌道交通,、核電等先進(jìn)制造各個領(lǐng)域,。

國產(chǎn)激光跟蹤儀突破百米測量范圍，百米工作空間高性能,，提供精準(zhǔn)測量保障

2,、融合新技術(shù),，通過工程化攻關(guān)，升級換代一批應(yīng)用面廣的通用智能精密測量檢測裝備,。

Hybrid系列復(fù)合式閃測儀

Hybrid系列復(fù)合式閃測儀是一種先進(jìn)的全自動影像測量儀,，基于大理石主體機臺和精密伺服控制系統(tǒng)，采用電動變倍鏡頭和大視場雙遠(yuǎn)心鏡頭的混合架構(gòu),，充分發(fā)揮光學(xué)電動變倍鏡頭的高精度優(yōu)勢和大視場雙遠(yuǎn)心鏡頭的效率優(yōu)勢,，能實現(xiàn)精度和效率的優(yōu)化組合測量。

Novator系列全自動影像儀

Novator系列全自動影像儀將傳統(tǒng)影像測量與激光測量掃描技術(shù)相結(jié)合,，能實現(xiàn)2.5D和3D復(fù)合測量,。還支持頻閃照明和飛拍功能，可進(jìn)行高速測量,，大幅提升測量效率,；具有可獨立升降和可更換RGB光源，可適應(yīng)更多復(fù)雜工件表面,。創(chuàng)新支持多種測量新特性,、新功能。

Mars Classic三坐標(biāo)測量機

移動橋式的三坐標(biāo)測量機結(jié)構(gòu)特點是開敞性好,，視野開闊,，上下零件方便，運動速度快,，精度高,。配備高精度的導(dǎo)軌、測頭和控制系統(tǒng),，并結(jié)合計算機程序來自動控制檢測流程,，從而計算輸出測量結(jié)果，支持測頭更換架以及影像相機,，同時支持精密轉(zhuǎn)臺等,，能夠?qū)Ω鞣N零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關(guān)系進(jìn)行檢測,，也可以對軟材質(zhì)或復(fù)雜零件進(jìn)行光學(xué)掃描測量,。可用于機械制造,、汽車工業(yè),、電子工業(yè)、航空航天工業(yè)以及計量檢測等領(lǐng)域,，是現(xiàn)代工業(yè)檢測和質(zhì)量控制的重要檢測設(shè)備。

3,、融合新原理,、新材料,、新工藝，研制開發(fā)一批專用智能精密測量檢測裝備,。加強新興領(lǐng)域?qū)Ｓ脵z測裝備研制,。

WD4000晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)

WD4000晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)可以在一個測量系統(tǒng)中自動測量Wafer厚度、表面粗糙度,、微納三維形貌,。使用光譜共焦技術(shù)測量晶圓厚度、TTV,、BOW,、 WARP等參數(shù)，同時生成Mapping圖,；采用白光干涉測量技術(shù)對Wafer表面進(jìn)行非接觸式掃描同時建立表面3D層析圖像,，顯示2D剖面圖和3D立體彩色視圖，高效分析表面的2D,、3D參數(shù),。可廣泛應(yīng)用于Wafer制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工、顯示面板,、MEMS器件等超精密加工行業(yè),。

有圖晶圓關(guān)鍵尺寸及套刻量測系統(tǒng)

有圖晶圓關(guān)鍵尺寸及套刻量測系統(tǒng)是一款集成高精度平面尺寸檢測和亞納米級表面3D形貌測量的光學(xué)檢測儀器，同時滿足大范圍多區(qū)域的高精度全自動檢測,，優(yōu)異的重復(fù)性及效率有效減少人為誤差及人員投入,。可廣泛應(yīng)用于芯片,、半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、精密配件、光學(xué)加工,、微納材料及制造,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)，對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，能夠?qū)π酒琙向?qū)崿F(xiàn)微納尺度的3D掃描和重建,，精確測量表面的高度輪廓尺寸；全自動上下料平臺,，配置掃描槍,，高效實現(xiàn)產(chǎn)線全自動化生產(chǎn)。

4,、強化人才培養(yǎng)

中圖儀器攜手深圳職業(yè)技術(shù)學(xué)院,，共同培養(yǎng)集成電路創(chuàng)新型技術(shù)技能人才,。雙方就校企聯(lián)合開發(fā)、人才培養(yǎng),、實訓(xùn)基地等方面進(jìn)行了深入的交流并達(dá)成初步合作共識,，2023年2月20-24日，第一批精英實訓(xùn)班圓滿結(jié)課,。

中圖儀器堅持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ),，擁有一支集光、機,、電,、信息技術(shù)于一體的技術(shù)團隊。歷經(jīng)20年的技術(shù)積累和發(fā)展實踐,，研發(fā)出了基礎(chǔ)計量儀器,、常規(guī)尺寸光學(xué)測量儀器、微觀尺寸光學(xué)測量儀器,、大尺寸光學(xué)測量儀器,、常規(guī)尺寸接觸式測量儀器、微觀尺寸接觸式測量儀器,、行業(yè)應(yīng)用檢測設(shè)備等全尺寸鏈精密儀器及設(shè)備,，能提供從納米到百米的精密測量解決方案。

未來,，中圖儀器仍將繼續(xù)專注于精密測量檢測技術(shù)的發(fā)展,，自強不息、知難而上,、勇于創(chuàng)新,，為中國制造技術(shù)的快速發(fā)展貢獻(xiàn)力量！