SEM是掃描電鏡,，英文全稱為Scanning Electron Microscope。以下是關(guān)于掃描電鏡的一些基本信息：

1,、工作原理

掃描電鏡是一種利用電子束掃描樣品表面,，通過(guò)檢測(cè)電子與樣品相互作用產(chǎn)生的各種信號(hào)來(lái)獲取樣品表面微觀結(jié)構(gòu)信息的電子顯微鏡。電子槍發(fā)射出的電子束,，經(jīng)過(guò)電磁透鏡聚焦和加速后,，形成一束高能量的細(xì)電子束，掃描線圈控制電子束在樣品表面進(jìn)行逐行掃描,。電子束與樣品表面的原子相互作用,，會(huì)產(chǎn)生二次電子、背散射電子等信號(hào),，這些信號(hào)被探測(cè)器收集并轉(zhuǎn)換為電信號(hào),，再經(jīng)過(guò)放大和處理后，在顯示屏上顯示出樣品表面的圖像,。

2,、特點(diǎn)

    - 高分辨率：能夠達(dá)到較高的分辨率，一般可以達(dá)到納米級(jí)別,，甚至在一些先進(jìn)的設(shè)備中可以達(dá)到亞納米級(jí)別,，能夠清晰地觀察到樣品表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)和形貌特征。

    - 大景深：與光學(xué)顯微鏡相比,，掃描電鏡具有很大的景深,，這意味著它可以對(duì)表面起伏較大的樣品進(jìn)行清晰成像，能夠呈現(xiàn)出樣品表面的三維立體結(jié)構(gòu),，使觀察者可以直觀地了解樣品的表面形態(tài),。

    - 樣品制備相對(duì)簡(jiǎn)單：對(duì)于大多數(shù)樣品，只需要進(jìn)行簡(jiǎn)單的處理,，如干燥,、鍍膜等，就可以進(jìn)行觀察,。不像透射電鏡那樣需要對(duì)樣品進(jìn)行超薄切片等復(fù)雜的制備過(guò)程,，這使得掃描電鏡能夠更方便地對(duì)各種類型的樣品進(jìn)行分析。

    - 可進(jìn)行多種分析：除了觀察樣品的形貌外,，掃描電鏡還可以與其他分析儀器相結(jié)合,，如能譜儀（EDS）、波譜儀（WDS）等,，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的成分分析,；還可以通過(guò)電子背散射衍射（EBSD）技術(shù)進(jìn)行晶體結(jié)構(gòu)和取向分析等。

3,、應(yīng)用領(lǐng)域

    - 材料科學(xué)：用于研究材料的表面形貌,、組織結(jié)構(gòu)、斷口分析等,，幫助了解材料的性能與結(jié)構(gòu)之間的關(guān)系,，為材料的研發(fā)、制備和性能優(yōu)化提供依據(jù),。例如在金屬材料中,，觀察金屬的晶粒大小、相分布,、缺陷等,；在半導(dǎo)體材料中，觀察芯片表面的電路結(jié)構(gòu),、光刻圖案等,。

    - 生物學(xué)：可以觀察生物樣品的表面形態(tài)和微觀結(jié)構(gòu)，如細(xì)胞,、組織,、微生物等的表面特征，有助于生物學(xué)研究中的形態(tài)學(xué)觀察,、細(xì)胞生物學(xué)研究,、病理學(xué)診斷等。比如觀察細(xì)胞的表面微絨毛,、細(xì)菌的形態(tài)和細(xì)胞壁結(jié)構(gòu)等,。

    - 地質(zhì)學(xué)：用于研究巖石、礦物的表面特征,、顆粒形態(tài),、孔隙結(jié)構(gòu)等，對(duì)地質(zhì)學(xué)中的巖石分類、成巖作用,、礦物鑒定等方面具有重要意義,。例如觀察巖石中的礦物顆粒分布、孔隙大小和連通性等,，為石油勘探,、地質(zhì)災(zāi)害研究等提供信息。

    - 工業(yè)檢測(cè)：在電子制造,、機(jī)械加工,、汽車制造等工業(yè)領(lǐng)域，用于產(chǎn)品的質(zhì)量檢測(cè),、失效分析等,。如檢查電子元件的焊接質(zhì)量、電路板的表面缺陷,、金屬零件的磨損和腐蝕情況等,。

CEM3000臺(tái)式掃描電鏡現(xiàn)場(chǎng)隨機(jī)進(jìn)行70000X倍成像