雙頻激光干涉儀是一種常用的實(shí)驗(yàn)室儀器，可以用于測(cè)量長(zhǎng)度,、形狀,、表面粗糙度等物理量。它基于干涉原理,，利用激光源發(fā)出兩個(gè)頻率不同的激光束,，通過(guò)干涉產(chǎn)生干涉條紋來(lái)進(jìn)行測(cè)量。在激光干涉儀中,，激光源會(huì)發(fā)出兩個(gè)頻率不同的激光束,，其中一個(gè)激光束為參考光，另一個(gè)激光束則被用來(lái)測(cè)量待測(cè)物體的位移或形變,。這兩束激光束會(huì)經(jīng)過(guò)分束器和反射鏡,，最終在檢測(cè)器上產(chǎn)生干涉信號(hào)。

　　雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀,。和單頻激光干涉儀一樣,，激光干涉儀也是一種以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器?？梢栽诤銣?，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊,，量桿,，刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等。它既可以對(duì)幾十米的大量程進(jìn)行精密測(cè)量,，也可以對(duì)手表零件等微小運(yùn)動(dòng)進(jìn)行精密測(cè)量,，既可以對(duì)幾何量如長(zhǎng)度、角度.直線度,、平行度,、平面度、垂直度等進(jìn)行測(cè)量,，也可以用于特殊場(chǎng)合,，諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器上記錄槽間距的測(cè)量等等。

　　雙頻激光干涉儀的應(yīng)用范圍非常廣泛,，具體如下：

　　1,、精密測(cè)量領(lǐng)域：能夠進(jìn)行長(zhǎng)度、角度,、直線度,、平行度,、平面度、垂直度等幾何量的精密測(cè)量,。它的測(cè)量精度可以達(dá)到納米級(jí)別,，遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)的機(jī)械測(cè)量和視覺(jué)測(cè)量方法。

　　2,、半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體光刻技術(shù)中,，用于微定位，保證光刻過(guò)程中的精確對(duì)準(zhǔn),。同時(shí),，它也被用于計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器上記錄槽間距的測(cè)量，確保數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的準(zhǔn)確性,。

　　3,、工程測(cè)量：在工程測(cè)量領(lǐng)域扮演著不可替代的角色，它可以對(duì)大型結(jié)構(gòu)進(jìn)行精密計(jì)量,，例如建筑物的變形監(jiān)測(cè),、橋梁的位移測(cè)量等。

　　4,、機(jī)床校準(zhǔn)：在高精度的磨床,、鏜床以及加工中心的定位系統(tǒng)中，雙頻激光干涉儀用于校準(zhǔn)機(jī)床,，確保加工精度和設(shè)備性能,。

　　5、科研實(shí)驗(yàn)：在科學(xué)研究和實(shí)驗(yàn)中,，用于精確測(cè)量微小物體的運(yùn)動(dòng),，如手表零件等，以及在物理實(shí)驗(yàn)中測(cè)量微小的位移變化,。

　　6,、計(jì)量室內(nèi)應(yīng)用：在恒溫,、恒濕,、防震的計(jì)量室內(nèi)，雙頻激光干涉儀用于檢定量塊,、量桿,、刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等測(cè)量工具的精度。