用于材料學(xué)領(lǐng)域的共聚焦顯微鏡：實(shí)現(xiàn)超高分辨率三維顯微成像測(cè)量的技術(shù)

用于材料科學(xué)領(lǐng)域的共聚焦顯微鏡，基于光學(xué)共軛共焦原理,，其超高的空間分辨率和三維成像能力,，提供了全新的視角和解決方案,。

工作原理

共聚焦顯微鏡通過在樣品的焦點(diǎn)處聚焦激光束，在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像,，從而進(jìn)行分析,。

儀器結(jié)構(gòu)

共聚焦顯微鏡主要有四部分組成：1、顯微鏡光學(xué)系統(tǒng),。2,、掃描裝置。3,、激光光源,。4、檢測(cè)系統(tǒng),。整套儀器由計(jì)算機(jī)控制,，各部件之間的操作切換都可在計(jì)算機(jī)操作平臺(tái)界面中方便靈活地進(jìn)行。

一體化操作的測(cè)量分析軟件

（1）測(cè)量與分析同界面操作,，無須切換,，測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能,；

（2）可視化窗口,，便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過程；

（3）結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能,，可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過程,；

（4）幾何分析、粗糙度分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全,；

（5）一鍵分析,、多文件分析，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,，批量樣品一鍵分析,，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能,；

（6）可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù),。

特點(diǎn)與應(yīng)用解析

共聚焦顯微鏡最大的特點(diǎn)是在成像時(shí)只獲取來自樣品的一個(gè)薄層,，而剩余的光信號(hào)被消除，從而消除了深度模糊現(xiàn)象,，獲得了超高的空間分辨率,。這一特性使共聚焦顯微鏡對(duì)大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè),，分析粗糙度,、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù),。

VT6000共聚焦顯微鏡共聚焦顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法，共同組成測(cè)量系統(tǒng),。高度顯示分辨率達(dá)到0.5nm,，具有很強(qiáng)的縱向深度的分辨能力。如在光伏行業(yè)中,，不僅可以對(duì)柵線進(jìn)行快速檢測(cè),，還可以對(duì)電池板絨面這種表面反射率低且形貌復(fù)雜的樣品進(jìn)行三維形貌重建。

此外還具備表征微觀形貌的輪廓尺寸測(cè)量功能,。

應(yīng)用領(lǐng)域

在材料學(xué)領(lǐng)域,，共聚焦顯微鏡能夠用來觀察材料的三維結(jié)構(gòu)和特性?？蓪?duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、平面度,、粗糙度,、波紋度、孔隙間隙,、臺(tái)階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。

通過共聚焦顯微鏡超高分辨率的三維顯微成像測(cè)量,，可以清晰地觀察到材料的表面形貌、表層結(jié)構(gòu)和納米尺度的缺陷。這對(duì)于理解材料的微觀特性和材料工程設(shè)計(jì)具有重要意義,。