臺階儀能檢測哪些東西,？主要應用在哪些領域？臺階儀是一種常見的工業(yè)測量儀器，廣泛應用于大學,、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體,、高亮度LED,、太陽能、MEMS微機電,、觸摸屏,、汽車、醫(yī)療設備等行業(yè)領域,。它能完成對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度,、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量,。

工作原理

當觸針沿被測表面輕輕滑過時,，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況,。

CP200臺階儀采用線性可變差動電容傳感器（LVDC）,，具有亞埃級分辨率，13um量程下可達0.01埃,，具有良好的測量精度及重復性,。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征,?？梢詼y量各種材料的膜層厚度，包括金屬,、陶瓷,、塑料等,，沒有特別的要求，樣品適應面廣,，數(shù)據(jù)復現(xiàn)性高,、測量穩(wěn)定、便捷,、高效,，是微觀表面測量中使用廣泛的微納樣品測量手段。

典型應用

1,、半導體應用

(1)沉積薄膜的臺階高度

(2)抗蝕劑（軟膜材料）的臺階高度

(3)蝕刻速率測定

(4)化學機械拋光（腐蝕,、凹陷、彎曲)

2,、大型基板應用

(1)印刷電路板（突起,、臺階高度）

(2)窗口涂層

(3)晶片掩模

(4)晶片卡盤涂料

(5)拋光板

3、玻璃基板及顯示器應用

(1)AMOLED

(2)液晶屏研發(fā)的臺階步級高度測量

(3)觸控面板薄膜厚度測量

(4)太陽能涂層薄膜測量

4,、柔性電子器件薄膜應用

(1)有機光電探測器

(2)印于薄膜和玻璃上的有機薄膜

(3)觸摸屏銅跡線