隨著超精密加工技術(shù)的不斷進步，各種微納結(jié)構(gòu)元件廣泛應(yīng)用于超材料,、微電子,、航空航天、環(huán)境能源,、生物技術(shù)等領(lǐng)域,。其中超精密3D顯微測量技術(shù)是提升微納制造技術(shù)發(fā)展水平的關(guān)鍵，中圖儀器自主研發(fā)的白光干涉掃描和共聚焦3D顯微形貌檢測技術(shù),，廣泛應(yīng)用于涉足超精密加工領(lǐng)域的三維形貌檢測與表面質(zhì)量檢測方案,。其中,，VT6000系列共聚焦顯微鏡，在結(jié)構(gòu)復(fù)雜且反射率低的表面3D微觀形貌重構(gòu)與檢測方面具有不俗的表現(xiàn),。

一,、結(jié)構(gòu)深、角度大

電子產(chǎn)品中一些光學薄膜表面存在一些特殊的微結(jié)構(gòu),，這些結(jié)構(gòu)表現(xiàn)為窄而深的“V形",、“金字塔"。白光干涉儀在測量此類結(jié)構(gòu)時,，由于形貌陡峭,、角度大，無法形成干涉條紋信號,，或條紋寬度過窄而無法準確地解調(diào)出深度信息,。VT6000系列共聚焦顯微鏡基于針孔點光源的共軛共焦原理，其依托弱光信號解析算法可以完整重建出近70°陡峭的復(fù)雜的結(jié)構(gòu)形狀,。

二,、反射差、信號弱

碳纖維紙類的表面反射率低,，結(jié)構(gòu)復(fù)雜且呈立體狀,。白光干涉儀因其對樣品表面反射形成的干涉條紋光信號對比度要求較高，而碳紙表面纖維絲的立體角度大,，導(dǎo)致部分位置因反射率低形成的干涉條紋對比度較低甚至無法形成干涉條紋,，從而難以解調(diào)出深度信息。VT6000系列共聚焦顯微鏡在此展現(xiàn)出其對弱光信號解析能力優(yōu)勢,，對樣件表面的低反射率特性適應(yīng)能力更強,。

中圖儀器以其自主研發(fā)的共聚焦顯微鏡，與早前推出的白光干涉儀一起,，構(gòu)成光學3D顯微測量領(lǐng)域的姊妹雙姝，為國內(nèi)超精密加工與微納制造領(lǐng)域提供專業(yè)的3D顯微形貌檢測方案,。

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是一家專業(yè)的幾何量測量儀器制造商,，旗下有專門的微納檢測儀器事業(yè)部，目前有SuperView系列光學3D表面輪廓儀,、VT6000系列共聚焦顯微鏡,、CP系列臺階儀等三大類納米級3D測量產(chǎn)品。憑借著多年在客戶端應(yīng)用場景下的錘煉,，在3D顯微測量領(lǐng)域積累了豐富的開發(fā)與應(yīng)用經(jīng)驗,。多年的自主開發(fā)工作，公司在納米傳動與掃描技術(shù),、白光干涉與高精度3D重建技術(shù),、尼普科夫轉(zhuǎn)盤共聚焦系統(tǒng),、超分辨率電容傳感掃描技術(shù)、超大區(qū)域無縫縫合技術(shù)等多個涉及到光,、機,、電、算交叉學科的領(lǐng)域積累了雄厚的技術(shù)實力,。參與過多項國家重大科研項目的攻關(guān)工作并順利通過驗收,。作為一家銷售服務(wù)網(wǎng)絡(luò)遍布全國的微納檢測儀器制造商，中圖儀器始終致力于為客戶提供專業(yè)的技術(shù)服務(wù)和優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品解決方案,。