激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀,。和單頻激光干涉儀一樣，激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器,?？梢栽诤銣兀銤瘢勒鸬挠嬃渴覂?nèi)檢定量塊,，量桿,，刻尺和坐標測量機等。它既可以對幾十米的大量程進行精密測量,，也可以對手表零件等微小運動進行精密測量,，既可以對幾何量如長度、角度.直線度,、平行度,、平面度、垂直度等進行測量,，也可以用于特殊場合,，諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。

　　激光干涉儀是建立在塞曼效應(yīng),、牽引效應(yīng)和多普勒效應(yīng)的基礎(chǔ)之上的,。在全內(nèi)腔He-Ne激光器上加約0.03T的軸向磁場，由于塞曼效應(yīng)和牽引效應(yīng),，發(fā)出一束含有兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光,，它們的頻率差大約是1.5MHz左右。這束光經(jīng)1/4波片之后成為兩個互相垂直的線偏振光,，再經(jīng)平行光管準直和擴束,。從平行光管出來的這束光經(jīng)過析光鏡反射出一小部分作為參考光束通過45°放置的檢偏器。并由馬呂斯定律可知,，兩個垂直方向的線偏振光在45°方向上投影,，形成新的線偏振光并產(chǎn)生拍頻。這個拍頻頻率恰好等于激光器所發(fā)出的兩個光頻的差值即（f1-f2）,，約為1.5MHz。經(jīng)光電元件接受進入前置放大器和計算機,。

　　激光干涉儀的特點：

　　1,、接受信號為交流信號，前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器,，不用直流放大,，故沒有零點漂移等問題。

　　2,、利用多普勒效應(yīng),，計數(shù)器計頻率差的變化，不受激光強度和磁場變化的影響,。在光強度衰減90%時仍可得到滿意的信號,，這對于遠距離測量是十分重要的，同時在近距離測量時又能簡化調(diào)整工作。

　　3,、測量精度不受空氣湍流的影響,，無需預(yù)熱時間。