對于現(xiàn)代愈發(fā)復雜的工藝檢測,，諸如半導體、電子封裝及光學加工等產(chǎn)業(yè)中,，由于表面微觀輪廓結(jié)構(gòu)的準確性決定著產(chǎn)品的功能和效能,，所以不管是拋光表面還是粗糙表面的工件（諸如半導體硅片及器件、薄膜厚度,、光學器件表面,、其他材料分析及微表面研究），都需要測量斷差高度,、粗糙度,、薄膜厚度及平整度、體積,、線寬等,。

同為微納米級表面光學分析儀器，白光干涉儀和激光共聚焦顯微鏡都具有非接觸式,、高速度測量,、高穩(wěn)定性的特點，都有表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能,，適用范圍廣,，可測多種類型樣品的表面微細結(jié)構(gòu)。但白光干涉儀與共聚焦顯微鏡還是有著不同之處,。

1,、測量原理

SuperViewW1白光干涉儀是以白光干涉技術為原理，實現(xiàn)器件亞納米級表面形貌測量的光學檢測儀器,；

VT6000激光共聚焦顯微鏡是以共聚焦技術為原理,，實現(xiàn)器件微納米級表面形貌測量的光學檢測儀。

共焦顯微鏡光路示意圖

2,、應用

白光干涉儀多用于測量大范圍光滑的樣品,，尤其擅長亞納米級超光滑表面的檢測,，追求檢測數(shù)值的準確；（SuperViewW1白光干涉儀測量行程有140*100*100㎜,，對于測量物體整個區(qū)域表面情況,，還可以使用自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能,。拼接測量功能3軸光柵閉環(huán)反饋,，在樣品表面抽取多個區(qū)域測量，就可以快速實現(xiàn)大區(qū)域,、高精度的測量,，從而對樣品進行評估分析。）

超光滑透鏡測量

自動拼接功能

大尺寸樣品拼接測量

而VT6000激光共聚焦顯微鏡更容易測陡峭邊緣,，擅長微納級粗糙輪廓的檢測,，雖在檢測分辨率上略遜，但成像圖色彩斑斕,，便于觀察,。

激光共聚焦顯微鏡原理及應用

白光干涉儀3D形貌測量之美