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三大點告訴你激光干涉儀是多么的優(yōu)秀
激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀,。和單頻激光干涉儀一樣,，激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。激光干涉儀可以在恒溫,，恒濕,，防震的計量室內(nèi)檢定量塊，量桿,，刻尺和坐標測量機等,。它既可以對幾十米的大量程進行精密測量,，也可以對手表零件等微小運動進行精密測量,，既可以對幾何量如長度、角度,、直線度,、平行度、平面度,、垂直度等進行測量,，也可以用于特殊場合，諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等,。
激光干涉儀的功能特性：
(1)接受信號為交流信號,，前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器，不用直流放大,，故沒有零點漂移等問題,。
(2)利用多普勒效應(yīng)，計數(shù)器計頻率差的變化,，不受激光強度和磁場變化的影響,。在光強度衰減90%時仍可得到滿意的信號，這對于遠距離測量是十分重要的,，同時在近距離測量時又能簡化調(diào)整工作,。
(3)測量精度不受空氣湍流的影響，無需預(yù)熱時間,。
用激光干涉儀作為機床的測量系統(tǒng)可以提高機床的精度和效率,。起初僅用于高精度的磨床,、鏜床和坐標測量機上，以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中,。但由于在一般機床上使用感應(yīng)同步器和光柵一般能達到精度要求,，而激光儀器的抗振性和抗環(huán)境的干擾性能差，且價格較貴,，目前在機械加工現(xiàn)場使用較少,。