白光干涉輪廓儀基于白光干涉原理,，以3D非接觸方式,，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：

　　1. 表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺階高度,，錐角等等）,。

　　2. 幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和體積,，特征圖形的位置和數(shù)量等等）。

　　白光干涉儀是目前三維形貌測量領(lǐng)域的高精度檢測儀器,。在同等放大倍率下,，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領(lǐng)域,，除了白光干涉儀,，其它儀器達(dá)不到檢測的精度要求。

　　白光干涉儀由以下幾部分構(gòu)成：

　　1. 光學(xué)照明系統(tǒng)采用鹵素光源,，其中心波長為576納米,，光譜范圍從340納米到780納米。

　　2. 光學(xué)成像系統(tǒng)采用無限遠(yuǎn)光學(xué)成像系統(tǒng),，由顯微物鏡和成像目鏡組成,。垂直掃描控制系統(tǒng)由壓電陶瓷以及控制驅(qū)動器構(gòu)成，采用閉環(huán)反饋控制方法,，可精密驅(qū)動顯微物鏡上下移動,，移動范圍100mm。位置移動精度為0.1納米,。

　　3. 信號處理系統(tǒng)信號處理系統(tǒng)是該儀器的核心部分,，由計算機(jī)和數(shù)字信號協(xié)處理器構(gòu)成。利用計算機(jī)采集一系列原始圖像數(shù)據(jù)。然后使用專用的數(shù)字信號協(xié)處理器完成數(shù)據(jù)解析作業(yè),。

　　4. 應(yīng)用軟件主要由操作控制部分,，結(jié)果顯示部分以及后處理部分組成。主要用于操作控制表面形狀測量儀器,。同時,，以三維立體，二維平面以及斷面分布曲線方式顯示實時測量結(jié)果,。并可對測量結(jié)果作進(jìn)一步的修正處理,。