激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀,。和單頻激光干涉儀一樣，激光干涉儀也是一種以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器,。激光干涉儀可以在恒溫,，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊,，量桿,，刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等。它既可以對(duì)幾十米的大量程進(jìn)行精密測(cè)量,，也可以對(duì)手表零件等微小運(yùn)動(dòng)進(jìn)行精密測(cè)量,，既可以對(duì)幾何量如長(zhǎng)度,、角度、直線度,、平行度,、平面度、垂直度等進(jìn)行測(cè)量,，也可以用于特殊場(chǎng)合,，諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器上記錄槽間距的測(cè)量等等。

　　激光干涉儀的使用注意事項(xiàng)：

　　1,、激光干涉儀必須定人保管,，機(jī)加技術(shù)組人員專(zhuān)人專(zhuān)用，專(zhuān)人送檢,，他人不得隨意動(dòng)用,，以防損壞，降低精度,。

　　2,、激光干涉儀要設(shè)置專(zhuān)庫(kù)存放，環(huán)境要求干燥,、通風(fēng),、防震、防霧,、防塵,、防銹。儀器應(yīng)保持干燥,。各種儀器均不可受壓,、受凍、受潮或受高溫,，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管,。

　　3、對(duì)激光干涉儀要小心輕放,，避免強(qiáng)烈的沖擊震動(dòng),，安置儀器前應(yīng)檢查三腳架的牢固性，整個(gè)作業(yè)過(guò)程中工作人員不得離開(kāi)儀器,，防止意外發(fā)生,。

　　4、激光干涉儀應(yīng)避免在溫度變化大,、有風(fēng),、潮濕環(huán)境下測(cè)量，此時(shí)檢測(cè)結(jié)果將收到很大的影響,。

激光干涉儀作為機(jī)床的測(cè)量系統(tǒng)可以提高機(jī)床的精度和效率,。起初僅用于高精度的磨床,、鏜床和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上，以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中,。但由于在一般機(jī)床上使用感應(yīng)同步器和光柵一般能達(dá)到精度要求,，而激光儀器的抗振性和抗環(huán)境的干擾性能差，且價(jià)格較貴,，目前在機(jī)械加工現(xiàn)場(chǎng)使用較少,。