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HITACHI掃描電鏡的產(chǎn)品特性介紹
HITACHI掃描電鏡特點：
*高分辨成像
日立的高亮度電子源可保證了即使在低著陸電壓下,，也可獲得高分辨的圖像,。
高襯度的低加速電壓背散射圖像
3D NAND截面觀察;
在低加速電壓條件下，背散射電子信號能夠顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別,。
快速BSE圖像：新型閃爍體背散射電子探測器(OCD)*
由于使用了新型的OCD探測器,，即使掃描時間不到1秒，也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結(jié)構(gòu)圖像,。
自動化功能*
EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動化工作流程,。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊，如設(shè)置放大倍率,、移動樣品位置,、調(diào)節(jié)焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標拖拽,，將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序,。經(jīng)過調(diào)試和確認后，該程序便可以在每次調(diào)用時自動獲得高質(zhì)量,、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù),。
靈活的用戶界面
原生支持雙顯示器，提供靈活,、高效的操作空間,。6通道同時顯示與保存，實現(xiàn)快速的多信號觀測與采集,。