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產(chǎn)品簡介
RTP-1000-LCD是一款4“RTP（快速熱處理） 管式爐。包括多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng),，在操控的同時,，可實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。他專為半導體基片和太陽能電池或其他樣品（尺寸可達3“）退火而設計,。 這款設備是采用12KW的紅外燈加熱,，*升溫速度是50℃/秒。 30 段精確溫度控制,，儀表控溫精度是 +/-1℃,。RS485接口和控制軟件可以通過計算機控制爐子運行并顯示溫度曲線。
詳細介紹
| 設備名稱 | 900℃帶多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)RTP管式爐一RTP-1000-LCD（2019.12.24-科晶實驗室審核） |
| 主要特點 | 快速升溫,，*達50℃/s,。 配有多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)，在操控的同時,，可實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù),。 超大管徑φ110mm。 *溫度可達900℃,。 法蘭上安裝有滑軌可直接推拉操作,。 開門斷電。 |
| 基本參數(shù) | 工作溫度∶ *900℃（<10min）;800℃（<30min）;600℃（長期） *升溫速率∶室溫~800℃∶ 50 ℃/s,，800℃~900℃∶ 10℃/s 法蘭∶ KF-25D型不銹鋼高真空法蘭 加熱區(qū)長度∶190mmn 加熱元件∶ 8根紅外燈管（每根1.5KW） *功率∶12KV（>60A 保險） .1 設備電源∶AC220V/50HZ單相 循環(huán)水流量∶0.5 m3/h 標配流量計量程范圍∶ 16-160 ml/min 多通道質(zhì)子流量計系統(tǒng)參數(shù)線 輸入電壓∶AC 220V/50Hz單相 功率∶ 23w |
| 多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng) | 適用于低壓小流量,，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體的切換使用,，而不會造成大氣進入加熱管,。氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀,、實用,，操作簡便。采用觸摸屏來控制氣體的流量，顯示流量準確,，方便操作,。所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸,。 |
| 真空法蘭 | 不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端,，便于組裝，法蘭上有1/4英寸直徑的通孔,，用于插入K型熱電偶,。 熱電偶∶ E型，熱電偶的頭部從下方接觸氮化鋁樣品架,。 |
| 溫控系統(tǒng) | ·采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,，可設置30段升降溫程序 ·溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護 · 儀表控溫精度∶ +/- 1°C · 熱電偶型號∶K型 |
| 開門斷電 | 為保證使用安全，該電爐為開門斷電設計
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| 認證 | 所有電氣部件均為UL認證,，并可通過TUV,、CSA認證 |
| 質(zhì)保 | 一年保修，終身技術支持,。 特別提示∶1.耗材部分如加熱元件,，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi),。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi),。 |
| 國家 | 名稱∶ 一種快速高溫退火爐 編號∶ ZL-2011-2-0077168.4 尊重創(chuàng)新∶鄙視抄襲、侵權必究 |
