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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
| 產(chǎn)品名稱 | 1100°C雙管滑動(dòng)快速加熱冷卻爐 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主要特點(diǎn) | 雙石英管∶外管直徑100mn,，懸掛的內(nèi)管直徑80mm,，金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生cvD反應(yīng)。（見下圖） 兩根爐管上安裝有真空密封法蘭,，允許反應(yīng)氣體在兩個(gè)管（10mm間距）之間流動(dòng),，情性氣體在管內(nèi)流動(dòng)以進(jìn)行冷卻。 · 搭載由多通道流量控制系統(tǒng)和真空泵共同組成的CVD系統(tǒng),。 爐子的底部安裝有一對(duì)滑軌,，可使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動(dòng)到另一側(cè)，以實(shí)現(xiàn)快速加熱和快速冷卻,。 ·包含一個(gè)止滑夾,，用于固定爐子的位置。 ·*溫度可達(dá)1100℃,。 雙層殼體結(jié)構(gòu),，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),，可有效降低殼體表面溫度。 · 內(nèi)爐膛表面涂有姜國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命,。 開門斷電，提高實(shí)驗(yàn)安全性,。
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| 基本參數(shù) | *溫度∶ 1100℃（≤30min） 工作溫度∶ 1000℃ 推薦升溫速率∶≤10℃/min 加熱元件∶摻參鉬鐵鉻鋁合金 ·電壓∶220 可根據(jù)需求選擇單溫區(qū)或雙溫區(qū)兩種爐膛,。（雙溫區(qū)見下圖） 加熱爐額定功率∶3KW（不包括CVD系統(tǒng)） 加熱區(qū)∶400mm （單溫區(qū)），200mm*2（雙溫區(qū)）
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| 爐管及滑軌 | 高純石英管80mm外徑x 1800mm長(zhǎng) 高純石英管100mm外徑x 1400mm長(zhǎng) 鍍鉻鋼制成的雙滑軌 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 真空法蘭 | 不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端,，便于組裝
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| 多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng) | 適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng),。尤其方便多種氣體的切換使用,，而不會(huì)造成大氣進(jìn)入加熱管。 氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,，外形美觀,、實(shí)用，操作簡(jiǎn)便,。 采用觸摸屏來控制氣體的流量,，顯示流量準(zhǔn)確，方便操作,。 所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接,，便于維修拆卸。 多通道質(zhì)子流量計(jì)系統(tǒng)參數(shù)∶ 輸入電壓∶ AC 2207/5OHz單相 功率∶23w
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| 真空系統(tǒng) | 此設(shè)備可根據(jù)需求配置合適的真空泵組
·GZK-101低真空機(jī)組∶ ·工作電電壓∶220v,，50~60HZ · 功率∶ 1KW ·系統(tǒng)極限真空度∶1.0*10-1Pa ·抽氣速率∶ 4.4L/ S
*103G高真空機(jī)組：
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| 溫控系統(tǒng) |
采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,，可設(shè)置30段升降溫程序 溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護(hù) 儀表控溫精度∶ +/- 1°C 熱電偶型號(hào)∶ K型 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 開門斷電 | 為保證使用安全該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)
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| 認(rèn)證 |
所有電氣部件均為UL認(rèn)證，并可通過TV,、CSA認(rèn)證 CE certified | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 質(zhì)保 | 一年保修,，終身技術(shù)支持。 特別提示∶ 1.耗材部分如加熱元件,，石英管,，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
