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產(chǎn)品簡介
SE-VM是一款高精度快速測量光譜橢偏儀,?？蓪崿F(xiàn)科研/企業(yè)級高精度快速光譜橢偏測量，支持多角度,，微光斑,，可視化調平系統(tǒng)等高兼容性靈活配置，多功能模塊定制化設計,。
詳細介紹
SE-VM是一款高精度快速測量光譜橢偏儀,?？蓪崿F(xiàn)科研/企業(yè)級高精度快速光譜橢偏測量,，支持多角度,，微光斑，可視化調平系統(tǒng)等高兼容性靈活配置,，多功能模塊定制化設計,。
一、概述
SE-VM 是一款超高精度快速測量光譜儀,，其采用行業(yè)的橢偏創(chuàng)新技術,，具備 1 雙旋轉補償器同步控制技術，2 透明基底消背反技術 等技術,?？焖賹崿F(xiàn)光學參數(shù)薄膜和納米結構的表征分析，適用于薄膜材料的快速測量表征,。支持多角度,，微光斑，可視化調平系統(tǒng)等高兼容性靈活配置,，多功能模塊定制化設計,。
1.高精度橢偏測量解決方案；
2.超高精度,、快速無損測量,；
3. 支持多角度、微光斑,、可視化調平系統(tǒng)功能模塊靈活定制,；
4. 豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結構模型庫，保證強大數(shù)據(jù)分析能力,。
二,、光譜橢偏儀產(chǎn)品特點
1.采用高性能進口復合光源，光譜覆蓋可見到近紅外范圍 (380-1000nm),，可支持擴展紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)
2. 高精度旋轉補償器調制,、PCRSA配置，實現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集,；
3. 支持系列配置靈活,，可根據(jù)不同應用場景支持多功能模塊化定制；
4. 數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫,、多種算法模型庫,，涵蓋了目前絕大部分的光電材料；
三,、產(chǎn)品應用
廣泛應用于鍍膜工藝控制,、tooling校正等測量應用,實現(xiàn)光學薄膜、納米結構的光學常數(shù)和幾何特征尺寸快速的表征分析,。