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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
| 實(shí)驗(yàn)機(jī)里 | 輝光放電等離子體中∶ 電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10.100倍 |
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | 雖環(huán)境溫度在100-300℃,，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解,，離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性,。因此，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上,，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜,。 科晶公司提供定制的薄膜材料的實(shí)驗(yàn)室質(zhì)量可靠、價(jià)格合理的緊湊型PECVD系統(tǒng),。 |
| 開啟式管式爐 | 工作溫度高達(dá)1200℃ 工作溫度∶1200℃ 爐管尺寸∶ ④50,，φ60，φ80都可用 溫度控制器∶30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器加熱區(qū)長(zhǎng)度∶ 440mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度∶150mm注;由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響,，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差,，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),，請(qǐng)與我公司銷售人員功率∶AC 220V 4KW |
| 等離子射頻電源 |
可控范圍=1% RF頻率∶13.56MHz,，穩(wěn)定性±0.005%噪聲∶≤55DB 冷卻∶ 風(fēng)冷 |
| 真空泵和閥門 | 采用KF25系列波紋管和精密針閥連接真空度可達(dá)10-3torr 本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為38x10至 1125Tor.不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換,。 |
| 質(zhì)量流量計(jì) | 內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計(jì)可準(zhǔn)確的控制氣體流量氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02%,。一個(gè)氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動(dòng)控制混合氣體輸入進(jìn)氣口∶采用標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭 |
| 細(xì)節(jié)圖展示 | |
| 外形尺寸 | 爐體∶ 550*380*520mm 供氣及真空系統(tǒng)∶ 600*600*597mm 凈重∶ 120KG |
| 開門斷電 | 為保證 使用安全，該電爐為開門斷電設(shè)計(jì) |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期相關(guān)耗材除外，如加熱元件,，密封圈等易耗件 |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | CE認(rèn)證 所有電器元件（>24V）都通過UL /MET/CSA認(rèn)證 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證 |
| 國(guó)家 | 名稱∶可組合式等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置編-2011-2-035577.1尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲,、侵權(quán)必究 |
| 使用注意事項(xiàng) | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥,，建議在本公司選購(gòu)減壓閥,，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時(shí)會(huì)更加安全 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度 <100°℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),，若氣壓表示數(shù)大于002MPa，必須立刻打開泄氣閥,，以防意外發(fā)生（如爐管破裂,，法蘭飛出等） |