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行業(yè)產(chǎn)品

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[供應(yīng)]化學(xué)機械磨拋機 UNIPOL-1203
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  • 化學(xué)機械磨拋機  UNIPOL-1203
貨物所在地:
江蘇南京市
更新時間:
2021-08-02 15:00:17
有效期:
2021年8月2日 -- 2021年11月1日
已獲點擊:
56
在線詢價 收藏產(chǎn)品

(聯(lián)系我們,請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,,謝謝?。?/p>

產(chǎn)品分類品牌分類

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介:UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機,,適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù),, 整機研磨部分采用防腐材料,,耐化學(xué)腐蝕,,配置自動滴料器和精密磨拋控制儀,全自動觸摸屏面板,,從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求,。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品名稱

UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,,濕度55%Rh±10%Rh下使用,。

1、水:設(shè)備配有上水口及下水口,,需自行連接自來水及下排水

2,、電:AC220V 50Hz,,必須有良好接地

3、氣:無

4,、工作臺:尺寸800mm×600mm×700mm,,承重200kg以上

5、通風(fēng)裝置:不需要

主要特點

1,、超平不銹鋼拋光盤(平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm),。

2、超精旋轉(zhuǎn)軸(托盤端跳小于0.01mm),。

3,、設(shè)有兩個加工工位,可分別進(jìn)行控制,。

4,、配有全自動控制觸摸屏面板,可設(shè)置主軸轉(zhuǎn)速,、擺臂速度,、磨拋時間。

5,、配置自動滴料器,,流量速率可視化調(diào)整,自動研磨和拋光,。

6,、配置GPC-100A精密磨拋控制儀,,可調(diào)節(jié)壓力,,修整面型,使磨拋更加方便快捷,。

7,、研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕,。

技術(shù)參數(shù)

主機部分

GPC-100A精密磨拋控制儀

自動滴料器

1,、電源:220V

2、功率:450W

3,、磨拋盤轉(zhuǎn)速:10-240rpm

4,、磨拋工位:2個

5、擺臂調(diào)節(jié)檔位:1-15檔

6,、托盤端跳:0.008/250mm

7,、不銹鋼磨拋盤:φ300mm

8、載樣盤:φ105mm

9,、修盤環(huán):φ127.5mm

 

 

1,、載樣盤直徑:Ø103mm

2,、載樣盤軸向行程:12mm

3、數(shù)顯表精度:0.001mm

4,、載樣盤可調(diào)加載壓力:

            0.1kg-2.1kg

5,、壓力確認(rèn)儀有效量程:1g-5000g

6、樣品裝卡方式:真空吸附

7,、承載樣件尺寸:

  直徑≤103mm,、 厚度≤12mm

8、尺寸:外徑146mm,,高266mm

 

SKZD-2滾筒滴料器

1,、容積:1.5L

2、流量:0-35ml/min

3,、尺寸:170×290×350mm,;

  重量:3kg

SKZD-4自動滴料器

1、加液泵:4個

2,、料液瓶:600ml/瓶

3,、計時范圍:1-999min

4、流量:0.1ml/min-10ml/min

5,、尺寸:230×370×450mm,;

  重量:10kg

產(chǎn)品規(guī)格

1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm

2,、重量:74Kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

鑄鐵研磨盤1個研磨盤

2

不銹鋼拋光盤

1個

3

載物盤

1個

4

修盤環(huán)

1個

5

SKZD-2滴料器

1個

滴料器

6

SKZD-4自動滴料器

1個

滴料器

7

GPC-100A精密磨拋控制儀

1個

8

拋光墊

(磨砂革,、合成革、聚氨酯)

各1片

9

剛玉研磨微粉

0.5kg

10

石蠟棒

4根

可選配件

1,、YJXZ-12攪拌循環(huán)泵

2,、精密測厚儀

3、陶瓷研磨盤

4,、玻璃研磨盤

5,、磁性樹脂金剛石研磨片

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