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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
1000°C小型RTP爐 是一款精巧型快速熱處理管式爐,，配有4“石英管和真空法蘭,，它是專為半導(dǎo)體和太陽(yáng)能電池基片（頂值為3“）的退火而設(shè)計(jì),，采用10KW紅外燈管加熱快速升溫的頂值速度為50°C/秒，30段溫度控制，精度為+/-1°C,，計(jì)算機(jī)通過(guò)RS485口和控制軟件實(shí)時(shí)控制爐子和顯示溫度曲線,。
詳細(xì)介紹
| 爐體結(jié)構(gòu) | 雙層莫來(lái)石鋼構(gòu)（不帶水冷或風(fēng)冷） 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命 |
| 加熱元件 | 8根紅外燈管 （D=10 L=300 T=200,，mm） |
| 加熱區(qū) | 12" length with 4"X12"恒溫區(qū)（+/-5℃） |
| 石英管和樣品架 | 石英管尺寸∶4.33" O.Dx4.05"LDx15"Length"的樣品架固定在滑動(dòng)法蘭上,，石英材料一片3" AIN 片放在樣品架上用來(lái)放置需要退火的樣品。 AN 具有很高的熱導(dǎo)率,，所以在樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性+-5℃ |
| 真空法蘭 | 帶KF-D25 高真空法蘭由不銹鋼制作,，兩個(gè)高溫"O"型圈密封滑骨動(dòng)法蘭使裝載樣品很容易.3" 樣品架和內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準(zhǔn)確。 |
| 水冷 | 如果要求通冷卻水. 請(qǐng)確定冷卻水流速≥ 3L/min,，水溫< 20℃C;水壓>25 PSI我們建議采用 循環(huán)水制冷器作為冷卻系統(tǒng)（為了節(jié)約用水）. 警告∶這款 RTP 爐在1000℃～1100℃C下保溫時(shí)間不超過(guò)600秒,，否則"O°圈將被燒融 |
| 流量計(jì) | 范圍∶ 16- 160 ml/min |
| 真空表 | 標(biāo)配∶數(shù)字真空表，測(cè)量范圍;10mtorr~800 tor,。注意∶此表是在氮?dú)庀滦?zhǔn)的,，只有在氮?dú)夂涂諝庀卤砩巷@示的是實(shí)際壓力，當(dāng)通入任何其他氣體時(shí),，必須參考說(shuō)明書中的相對(duì)氣體對(duì)照表,，否則后果會(huì)很嚴(yán)重。 向選∶本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),，其測(cè)量范圍為3.8x10-.5至1125Torn.不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換,。 |
| 真空度 | 用機(jī)械泵真空度達(dá) 50 mtorr. 用分子泵真空度可達(dá) 10-4 tor. |
| 溫度控制 | PID 自動(dòng)控制，可控硅 SCR |
| 熱偶 | 進(jìn)口K 型熱偶,，緊貼在放樣品的AIN片下。 |
| 溫度儀 | PID自動(dòng)控制,，30段程序帶過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能熱偶∶進(jìn)口K type自整定功能控溫精度∶ +/- 1°℃ RS485 串口和溫控軟件（模塊和數(shù)據(jù)線需要另購(gòu)） |
| 升溫速度頂值 | 室溫~800℃∶ 50C/sec,，800℃~1000℃∶ 10C/sec |
| 升溫曲線 | 直接升溫到1000℃;分階段升溫?cái)?shù)據(jù) |
| 降溫速度頂值 | 60℃/min （在 200 mtorr下， 117℃/min（在一個(gè)大氣壓下） 選擇∶為得到較快的降溫速度<10℃/秒,，你可以選擇帶滑軌的 RTP爐 |
| 溫度 | 溫度頂值1100℃,，額定1000℃ |
| 電源 | 208-240 AC，50/60 Hz 單相,， 功率頂值9KW （> 60A 保險(xiǎn)） |
| 注意 | 此爐可以增加鍍SiC的石墨坩堝改造成RTE（快速熱蒸發(fā)）爐（可查看下方的圖片自己制備RTE） |
| 尺寸 | 760 X330 X 530 mm (30"Wx13"Lx21"H) |
| 重量 | 45 kg (100 Ibs) |
| 保修期 | 電器部分一年質(zhì)保期 （耗材∶如爐管,，"O"型圈和加熱燈管等不在保修范圍內(nèi)） |
| 認(rèn)證 | CE認(rèn)證 所有電器元件（>24V）都通過(guò)了ULMET/CSA認(rèn)證 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證 |
| 國(guó)家 | 名稱∶一種快速高溫退火爐編-2011-2-0077168.4尊重創(chuàng)新,、鄙視抄襲,、侵權(quán)必究 |
| 使用注意事項(xiàng) | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),，氣瓶上必須安裝減壓閥,，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,，使用時(shí)會(huì)更加準(zhǔn)確安全 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相，保在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200sCM,，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥,，以防意外發(fā)生（如爐管破裂,，法蘭飛出等） |