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| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合 |
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產品簡介
詳細介紹
多功能 3D/三維光學共聚焦顯微鏡（ OPTELICS HYBRID+,，三維表面輪廓儀/三維表面形貌儀 ），高度方向測量精度達0.05nm,；系統(tǒng)整合了白光共聚焦+激光共聚焦技術,；以雙共聚焦光學系統(tǒng)為基礎，集6項測試功能于一體，包括白光共聚焦,、激光共聚焦,、微分干涉測量、垂直白光干涉測量,、相差干涉測量,、反射分光膜厚測量等功能；通常多臺設備才能完成的測量,，僅需一臺設備即可實現(xiàn),，解決了需要使用多種工具的麻煩，滿足在各種測量場景中的測試需求,。
提供6個測試功能模塊,，應對多樣測量需求
滿足行業(yè)測試規(guī)格要求，High精度
提供多種測量和分析
自動化測量技術,，高效測量
適用于滿足多樣場景測試需求
三維光學共聚焦顯微鏡（三維表面輪廓儀/三維表面形貌儀） 一個平臺提供6種測試功能:
1. 白光共聚焦
寬視野+High精度測量
高清彩色觀察
2. 激光共聚焦
高倍·High 分辨率觀察
搭載波長405nm的紫色半導體激光,，無需前處理，以可媲美電子顯微鏡的High分辨率,，鮮明捕捉納米級細微構造,。
3. 微分干涉測量
納米級凹凸觀察
共聚焦與微分干涉（DIC）相結合，實現(xiàn)細微凹凸形狀的可視化,。由于焦點深度極低,，對于透明樣品可以排除其背面的影響僅對表面進行觀察。
4. 垂直白光干涉測量
數(shù)毫米寬廣視野內的納米級形狀測量
白光通過雙光束干涉鏡產生的干涉波形,，通過垂直方向掃描找到干涉光強度高點,，得到樣品的高度分布數(shù)據(jù)。原理上,，高度分辨率不受物鏡放大倍數(shù)影響,，因此可使用低倍鏡快速完成寬視野范圍測量。
5. 反射分光膜厚測量
納米級透明膜厚測量
利用波長切換功能對6個波長的絕對反射率進行測量,，光學建模計算得到膜厚,。數(shù)nm～1μm的單層/多層膜厚可測量。測量區(qū)域在共聚焦觀察圖像上確定,，亞微米區(qū)域～全視野的數(shù)mm區(qū)域的平均膜厚均可測量,。而且因各個像素(pixel)的膜厚能夠計測，所以可以測量膜厚分布,。
6. 相差干涉測量
埃米級形狀測量
白光通過雙光束干涉鏡產生的干涉條紋,，與從樣品反射回的反射光的光程差直接相關。在垂直方向細微移動得到4組干涉圖像,，通過解析實現(xiàn)高分辨率的高度分布測量,。
多種波長切換
測量速度快
3D 形貌測量共聚焦顯微鏡（HYBRID）實現(xiàn)了業(yè)界快速幀率(15Hz~120Hz)掃描,，實現(xiàn)圖像拼接、自動測量,、自動缺陷檢測和快速測量,。
High精度測量
三維形貌測量共聚焦顯微鏡（HYBRID）高度方向測量精度達0.05nm。
提供各種測量,，分析和支持功能,，具有可用性
LM eye是HYBRID的測量和分析軟件，提供多種功能,，幫助您順利操作
測量和分析功能
可以測量和分析參數(shù),，包括輪廓，粗糙度和薄膜厚度
測量支持功能
HYBRID提供各種測量,、分析
自動化操作,，效率更高
LIBRA
LIBRA 是一個軟件程序，它使用定義的平臺執(zhí)行自動測量,。
LM 檢測
LM Inspect 是一個軟件程序,，可以自動檢測基材上的小顆粒和缺陷。并且支持使用缺陷審查和深度學習進行高精度缺陷分類,。
其他型號：
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