您好, 歡迎來到化工儀器網
6
原位薄膜應力測試儀是薄膜制備工藝*的工具
原位薄膜應力測試儀，又名薄膜殘余應力測試儀或薄膜應力儀,，是專門用于測試和研究薄膜材料和薄膜制備工藝的*的工具,。
薄膜中應力的大小和分布對薄膜的結構和性質有重要的影響，可導致薄膜的光,、電,、磁、機械性能改變,。例如,，薄膜中的應力是導致膜開裂或與基體剝離的主要因素，薄膜中存在的殘余應力很多情況下影響MEMS器件結構的特性,，甚至嚴重劣化器件的性能,，薄膜的內應力對薄膜電子器件和薄膜傳感器的性能有很大的影響.因此，薄膜應力研究在薄膜基礎理論和應用研究中起到重要的作用,，薄膜應力的測量備受關注,。原位薄膜應力測試儀再例如在硬質薄膜領域，金屬氮化物,、氧化物,、碳化物等硬質薄膜因具有*的耐磨、耐腐蝕等特性,，被廣泛應用于金屬材料的防護．硬質薄膜的主要制備方法包括物理氣相沉積和化學氣相沉積技術．研究發(fā)現(xiàn),，沉積態(tài)硬質薄膜中存在較大的殘余應力，而且沿層深分布不均勻,；該殘余應力對硬質薄膜一基體系統(tǒng)的性能影響很大,，較準確地測量硬質薄膜的殘余應力，系統(tǒng)研究它與沉積工藝的關系,，對優(yōu)化硬質薄膜基體系統(tǒng)的性能具有重要的意義,。
原位薄膜應力測試儀產品功能和特點：
1.自動采集分析數據功能；
2.自動掃查樣品邊緣,，定位樣品中心,；
3.自動計算出曲率半徑值和薄膜應力值,；
4.對原始表面不平直的基片表面的薄膜，可采取原位測量的方式,，計算薄膜應力值,。