牛津電子束鍍膜機是一種高科技的表面處理設備,,通過高能電子束在物質表面形成穩(wěn)定而均勻的涂層,,從而提高材料本身的耐磨,、耐腐蝕,、保護環(huán)境等方面的性能,。這種設備廣泛應用于航空航天,、汽車,、電子,、儀器儀表等領域。
牛津電子束鍍膜機是化合物半導體器件制作中的一種重要工藝技術,。它是在高真空狀態(tài)下由電子束加熱坩堝中的金屬,,使其熔融后蒸發(fā)到所需基片上形成金屬膜??烧舭l(fā)很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料,,包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發(fā)鍍膜機是英國牛津真空公司生產,臺式設計,、軟件自動操控,、高性價比,非常適合實驗室科研使用,。牛津電子束鍍膜機的核心技術是電子束物理學,。其原理是將一束速度極快的電子流聚焦成微小的束,并使它以高速度轟擊物體表面,,在產生的瞬間高溫和大氣壓力下,,物質表面便會產生化學反應,,從而形成一層均勻致密的涂層。
牛津電子束鍍膜機技術規(guī)格包括基底尺寸(3英寸,,4英寸,,6英寸)、基底旋轉(0~10rpm),、電子束源(Telemark電子束源,,單袋或多袋電子束源可選)、熱蒸發(fā)源(多配置2套熱蒸發(fā)舟)等,。這種設備臺式設計,、軟件自動操控、高性價比,,非常適合實驗室科研使用,。
需要注意的是,使用牛津電子束鍍膜機時,,應嚴格遵守設備操作規(guī)程,,確保安全操作。