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快速退火爐的類型和特點(diǎn)
快速退火爐是用于制造半導(dǎo)體器件的工藝,，包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響它們的電性能。熱處理是為不同的效果而設(shè)計(jì)的,?？梢约訜峋约せ顡诫s劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或晶片襯底界面,，密集沉積薄膜,，改變生長薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷,，將摻雜劑從一個薄膜移動或轉(zhuǎn)移到另一個薄膜,，或者從薄膜進(jìn)入晶片襯底。
那么快速退火爐有哪些類型呢,？
一,、鋁合金快速退火爐。
主要用于鋁合金,、鋁板的熱處理和均熱退火,。
鋁合金快速退火爐由臺車爐體、循環(huán)系統(tǒng),、導(dǎo)流設(shè)備,、加熱元件、裝料臺車,、爐門升降機(jī)構(gòu)和電氣控制系統(tǒng)組成,。
二、井式真空快速退火爐。
適用于圓線材和鋼帶退火,。真空加熱退火,，不滲氮不脫碳，使工件退火后保持光亮,。真空快速退火爐主要由爐體,、爐襯、真空泵,、循環(huán)風(fēng)機(jī)和電氣控制系統(tǒng)組成,。
三、多管不銹鋼絲光亮快速退火爐,。
它由加熱爐,、冷卻器、放卷機(jī)構(gòu)和電控系統(tǒng)組成,。
主要適用于不銹鋼絲,、銅線、鐵絲等的光亮退火,。
四,、井式快速退火爐。
適用于圓線材和不銹鋼線材,，拉伸前退火,，氧化少，無脫碳,，使工件退火后保持整齊,。特點(diǎn)：可配置多臺爐，多工位操作可節(jié)省人力資源,，提高生產(chǎn)效率,，節(jié)約能源，降低生產(chǎn)成本,。
五,、臺車式快速退火爐主要用于銅排、鑄鋼件,、汽車零部件,、軋輥、鋼球,、金屬結(jié)構(gòu)件及焊件的正火及退火熱處理,。臺車式快速退火爐主要由爐門升降和密封設(shè)備、爐車,、爐車傳動機(jī)構(gòu),、電加熱設(shè)備和溫度控制系統(tǒng)組成,。可在水平地面上使用,，無需基礎(chǔ)安裝,。
六、罩式快速退火爐,。
該設(shè)備可廣泛用于有色金屬銅,、鋁合金、黑色金屬,、普碳鋼、硅鋼,、合金鋼及其他卷,、卷、線等的退火,。沒有氮化和脫碳,，使工件退火后能保持整齊。該快速退火爐具有生產(chǎn)效率高,、產(chǎn)品質(zhì)量好,、能耗低、無污染,、自動化操作,、安全可靠等優(yōu)點(diǎn)。罩式爐由加熱罩,、兩個爐座,、閥門框架和電氣控制系統(tǒng)組成。
七,、網(wǎng)帶式不銹鋼快速退火爐,。
它由進(jìn)料臺、加熱區(qū),、冷卻段,、氨分解爐、電氣控制系統(tǒng)等部分組成,。主要適用于各種不銹鋼,、銅、鐵制品在保護(hù)氣氛控制下的連續(xù)光亮退火和固溶處理,。