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全自動半自動探針臺的作用是什么？
全自動半自動探針臺可以固定晶圓或芯片,，并精確定位待測物,。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針頂端放置到待測物上的正確位置,。一旦所有探針頂端都被設(shè)置在正確的位置,，就可以對待測物進行測試。對于帶有多個芯片的晶圓,，使用者可以抬起壓盤,，壓盤將探針頭與芯片分開，然后將工作臺移到下一個芯片上,，使用顯微鏡找到精確的位置,，壓板降低后下一個芯片可以進行測試。半自動和全自動探針臺系統(tǒng)使用機械化工作臺和機器視覺來自動化這個移動過程,，提高了探針臺生產(chǎn)率,。
探針臺可以將電探針,、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測試儀器/半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導(dǎo)體器件,。這些測試可以很簡單,，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以很復(fù)雜,，包括微電路的完整功能測試,。可以在將晶圓鋸成單個管芯之前或之后進行測試,。在晶圓級別的測試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測試芯片器件undefined,，這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入最終產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯,，這在封裝成本相對于器件成本高的應(yīng)用中很重要,。探針臺還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應(yīng)用,。
全自動半自動探針臺的分類
探針臺可以按照使用類型與功能來劃分,，也可以按照操作方式來劃分成：手動探針臺、半自動探針臺,、全自動探針臺,。
手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的，這意味著晶圓載物臺,、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的,。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動探針臺。該類探針臺的優(yōu)點之一是只需要最少的培訓(xùn),，易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測試環(huán)境,，并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時間的電子設(shè)備、PC或軟件,。由于其靈活和可變性高的特點,，非常適合研發(fā)人員使用。
全自動半自動探針臺相比上述兩種添加了晶圓材料處理搬運單元(MHU)和模式識別undefined(自動對準(zhǔn)),。負責(zé)晶圓的輸送與定位,，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試?？梢?4小時連續(xù)工作,，通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等,。全自動探針臺價格也是遠比手動/半自動探針臺要昂貴,。