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如果你不了解真空泵的分類，那你就點(diǎn)進(jìn)來(lái)看看
液環(huán)泵
雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵,，但在中國(guó)的石油,、化工、電力,、輕紡,、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域仍然有著很大的市場(chǎng),。液環(huán)泵工作原理在國(guó)外,，液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場(chǎng)的14%，僅次于干泵,，由于液環(huán)泵大部分是鑄件,，加工要求也不高，屬勞動(dòng)密集型產(chǎn)品,，所以國(guó)產(chǎn)液環(huán)泵在價(jià)格上有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),，關(guān)鍵是要改進(jìn)設(shè)計(jì)，縮小體積,，減輕重量,，提高效率，降低能耗,。
滑閥泵
由于滑閥泵比較耐用,、可靠，國(guó)內(nèi)外各種真空爐,、鍍膜機(jī)以及干燥,、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級(jí)泵，滑閥泵工作原理但是滑閥泵鑄件重,，加工工作量較大,，所以國(guó)外各真空廠都在中國(guó)尋找合作伙伴。為了使國(guó)產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入市場(chǎng),，必須進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)噪聲,，杜絕噴油和漏油，提高滑閥泵長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性,。
羅茨泵
從國(guó)外羅茨泵生產(chǎn)情況來(lái)看,，國(guó)外幾家大公司，如Leybold,、Balzers,、Alcatell,、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷售額羅茨泵銷售額的比例都沒(méi)超過(guò)5%,，這5家總計(jì)才20%,，羅茨泵產(chǎn)量不大，但國(guó)外羅茨泵羅茨泵工作原理的價(jià)格遠(yuǎn)比國(guó)產(chǎn)泵要高得多,。國(guó)內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng),，為了縮短抽氣時(shí)間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵,，所以國(guó)產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)基礎(chǔ)上設(shè)法進(jìn)入市場(chǎng),，這樣就必須進(jìn)一步降低國(guó)產(chǎn)羅茨泵的振動(dòng)噪聲，*解決軸封漏油問(wèn)題,，改進(jìn)泵的外觀質(zhì)量,，提高泵內(nèi)的光潔度和清潔度。另外,，還要考慮到有些國(guó)家和地區(qū)的電源頻率為60Hz,，更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性。
國(guó)內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快,，技術(shù)上已經(jīng)成熟,。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過(guò)管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子,，從而使壓縮熱得到平衡,，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求,，這種泵可以串聯(lián)使用,，一般前面加一臺(tái)氣冷式直排大氣羅茨泵，所達(dá)到的極限真空要比前級(jí)泵高一個(gè)數(shù)量級(jí),。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒(méi)有工作介質(zhì),，實(shí)際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油,、化工,、塑料、農(nóng)藥,、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡,、航空航天空間模擬等裝置上得到了長(zhǎng)期運(yùn)行的考驗(yàn)，所以應(yīng)該在國(guó)內(nèi)大力推廣和應(yīng)用,。
直聯(lián)旋片泵
隨著真空技術(shù)在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大,，直聯(lián)旋片泵的需求量越來(lái)越大。由于這種泵數(shù)量很多，加工裝配工作量很大,，價(jià)格又很低,，所以有的國(guó)外真空廠商在中國(guó)建立專業(yè)廠。國(guó)產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過(guò)關(guān),，價(jià)格又遠(yuǎn)比國(guó)外的泵便宜,，所以國(guó)產(chǎn)泵仍然有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問(wèn)題,，確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運(yùn)行可靠,，同時(shí)還要進(jìn)一步提高國(guó)產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力,。
分子泵
分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射,、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵,。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng),。為了提高抽速,，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵,，水蒸氣被低溫板捕獲,，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量,。隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,，分子泵應(yīng)該是中國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn),。首先，分子泵要從小到大建立完整系列,，以滿足不同場(chǎng)合的需要,。