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貨物所在地:上海上海市
所在地: 上海
更新時間:2025-03-12 21:00:48
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表面清潔度分析儀Automatic Flat Panel Cleanness Analyzer / Water Drop Angle Meter
Model LCD1000A/LCD1000M
LCD系列表面清潔分析儀為美國科諾研制的行業(yè)性分析儀器,,可在分析測試水滴在液晶屏、晶圓(Wafer),、芯片或PCB板表面的形成的角度值的基礎(chǔ)上,,進(jìn)而分析Plasma效果,,是一種基于界面化學(xué)分析系統(tǒng)的表面清潔度測試系統(tǒng)。
本系列表面清潔度分析儀由儀器主機(jī)和CAST™2.0水滴角分析軟件兩個部分組成,。根據(jù)樣品臺移動方式不同,,我們將儀器主機(jī)分為自動(LCD1000A)、手動(LCD1000M)兩種,。樣品臺尺寸及其控制行程可根據(jù)客戶要求定制,。我們?yōu)閺V大客戶提供性能,價格合理的儀器以及化的表面清潔度分析儀產(chǎn)品,,期盼為客戶的研發(fā)與品質(zhì)控制提供的服務(wù),。
一、產(chǎn)品優(yōu)勢:
1,、人性化的設(shè)計(jì),,操作簡單;
→選購自動注射泵,,可完成自動進(jìn)液控制,,精度可達(dá)0.02uL
→自動修正鏡頭傾斜角度以及水平線傾斜角度
→按測試,軟件自動完成拍照,、分析敏感點(diǎn),、計(jì)算角度值
2、全區(qū)域測試,,可支持各種規(guī)格面板
→480*480(LCD-400S)
→750*750(LCD-700S)
→900*700(LCD900S)
→1400*1400(FPD)
3,、數(shù)據(jù)庫管理技術(shù)
→歷史數(shù)據(jù)可查詢
→可導(dǎo)出為EXCEL文檔及BMP圖片
→可錄相AVI格式,供制作PPT所用
4,、CAST2.0具有多項(xiàng)技術(shù)
→多達(dá)6種以上接觸角計(jì)算辦法
→多達(dá)12種固體表面自由能估算模型
→支持曲面校準(zhǔn)技術(shù)
→支持粘附功計(jì)算,、WBA分析等
二、功能實(shí)現(xiàn):
1,、測試前:
(1)通過調(diào)整進(jìn)樣器前后,、左右、上下移動(XYZ)及鏡頭俯仰角度和升降(Z向),,實(shí)現(xiàn)調(diào)整焦距的目的,。
(2)通過控制導(dǎo)軌前后、左右移動(XY),,將注射泵移動至角落后,,以方便裝樣。
2,、測試過程中:
(1)通過導(dǎo)軌前后,、左右方向(XY)的移動控制,實(shí)現(xiàn)樣品上不同點(diǎn)的水滴角度值的測試,;
(2)通過移動進(jìn)樣器升降移動(Z向),,完成液滴移液過程(將水液滴轉(zhuǎn)移到液晶屏上),;
(3)通過進(jìn)樣器注出液滴,進(jìn)行角度分析,,精度可達(dá)0.02uL,。
3、測試實(shí)現(xiàn)方法:
(1)通過相機(jī)捕捉液滴在液晶屏上的圖片后,,分析敏感點(diǎn),,計(jì)算得出角度值;
(2)計(jì)算辦法:θ/2法(WH法)或圓擬合法,;
(3)軟件對鏡頭的俯視角度進(jìn)行適當(dāng)?shù)男拚?,以期?shí)現(xiàn)更的測量。
三,、技術(shù)參數(shù):軟件分析基于CAST2.0分析系統(tǒng)
| LCD1000A | LCD1000M | ||
全自動型 | 手動型 | |||
主機(jī) | 主機(jī) | 概述 | 自動控制樣品臺 | 手動控制樣品臺 |
鏡頭水平X移動 | 自動:600mm 或更大行程 精度:0.01mm | 手動:600mm或更大行程 精度:0.1mm 帶手柄 | ||
鏡頭水平Y(jié)移動 | 自動:600mm或更大行程 精度:0.01mm | 手動:600mm或更大行程 精度:0.1mm帶手柄 | ||
鏡頭上下Z1移動 | 自動:25mm 精度:0.01mm | 手動:25mm 精度:0.01mm | ||
鏡頭傾斜調(diào)整 | 手動 | 手動 | ||
樣品臺水平 | 手動 微調(diào) | 手動 微調(diào) | ||
進(jìn)樣器控制XY | 手動 12.5mm 0.01mm 精度 | 手動 12.5mm 0.01mm 精度 | ||
進(jìn)樣器控制Z | 自動 25mm 0.01mm精度 | 手動 25mm 0.01mm精度 | ||
整機(jī)升降控制Z2 | 自動 25mm 0.01mm精度 | 手動 25mm 0.01mm精度 | ||
水平調(diào)整 | 手動微調(diào)控制樣品臺水平 | |||
樣品臺 | 600*600mm 或更大 | |||
進(jìn)樣器 | 自動進(jìn)樣注射泵 | 手動進(jìn)樣注射泵 | ||
進(jìn)樣器焦距調(diào)整:手動 | ||||
光學(xué)CCD成像系統(tǒng) | USB口視頻捕捉設(shè)備 25幀/秒工業(yè)黑白CCD相機(jī) 10-50倍連續(xù)放大工業(yè)鏡頭 | |||
光學(xué)系統(tǒng)調(diào)整 | 一維水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu) | |||
光源系統(tǒng) | 可調(diào)亮度單色冷光LED光源,,水滴角圖像邊緣更清晰 | |||
通訊接口 | 主機(jī)控制及視頻系統(tǒng)控制均采用USB2.0通訊接口,兼容性更好,、速度更快 | |||
軟件 系統(tǒng) | 水滴角計(jì)算方式 | 全自動計(jì)算 按“測試”,,軟件自動完成拍照、分析敏感點(diǎn),、計(jì)算水滴角值三個動作 | ||
水滴角計(jì)算辦法 | 共6種:*提供θ/2法,、真實(shí)液滴法、圓擬合法,、橢圓擬合法,、曲線尺法,適用于分析動/靜態(tài)水滴角值 | |||
液滴形態(tài) | 5種分析液滴形態(tài):停滴(2,、3態(tài)),、懸滴、氣泡虜獲法以及插板法,,多種液滴形態(tài)均可適用 | |||
隨時間變化水滴角測試 | 25幀/秒隨時間變化水滴角測試,提供軟件觸發(fā)技術(shù) | |||
動態(tài)水滴角分析 | 前進(jìn)角/后退角分析 | |||
表面自由能估算 | *提供如Equation of State ( Neumann et al. ),、Good-Girifalco,、Owen-Wendt-Rabel、Simple Fowkes,、Extended Fowkes,、WU法1-2、Schultz法1-2,、Acid-base(Van OSS & Good),、Jhu、Zizman臨界表面張力法等共12種表面自由能估算方法,,不但能分析低能固體表面,,也能分析高能固體表面,,以及他們的分布(色散力、極性力,、氫鍵值,、路易斯酸堿等)。 | |||
粘附功計(jì)算 | 軟件自動分析 | |||
ü 自動曲面修正:上凸曲面,、下凹曲面,、表面粗糙度修正; | ||||
ü 自動水滴角值計(jì)算(θ/2 法)和人工計(jì)算水滴角值法切換 | ||||
ü 左右水滴角值計(jì)算與比較,,平均水滴角計(jì)算 | ||||
ü 水平及俯仰角度,,任意角度值修正功能 | ||||
ü 自動生成曲線圖 | ||||
ü 強(qiáng)大的數(shù)據(jù)庫管理功能:備份、壓縮,、導(dǎo)出EXCEL表格 | ||||
ü 自動液滴量估算 |
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)