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氣相沉積薄膜與基體附著力劃痕試驗儀根據(jù)壓頭上自動連續(xù)增加的垂直載荷,,測定劃透薄膜并使之從其基體上連續(xù)剝離所需要的最小載荷,, 即薄膜–基體界面附著失效的臨界載荷 L C ,。
氣相沉積薄膜與基體附著力劃痕試驗儀
氣相沉積薄膜與基體附著力劃痕試驗儀
根據(jù)壓頭上自動連續(xù)增加的垂直載荷,,測定劃透薄膜并使之從其基體上連續(xù)剝離所需要的最小載荷,, 即薄膜–基體界面附著失效的臨界載荷 L C ,。
測定 L C 的自動劃痕試驗機的結(jié)構(gòu)原理如圖1所示。 該儀器由下列主要部件組成: A—壓頭連續(xù)加載電機,; B—聲發(fā)射探頭,, 探測劃痕產(chǎn)生的聲發(fā)射強度并輸入微機; C—洛氏硬度計標準壓頭,; D—試樣臺,; E—位移電機, 用以勻速沿水平方向拖動試樣臺,; F—切向摩擦力傳感器,, 連續(xù)檢測壓頭與薄膜之間的摩擦力并輸入微機; G—試樣臺高度升降螺桿,; H—加載壓力傳感器,; I—光學(xué)顯微鏡(≥40×); J—信號放大器,; K—變換控制器,; L—微型計算機(嵌入式工業(yè)電腦), 用以實施測試自控和自動處理數(shù)據(jù),, 并動態(tài)顯示及存貯數(shù)據(jù)與圖形,; M—試樣; N—CRT 顯示器,; O—繪圖打印機,, 輸出試驗結(jié)果; P—壓頭加載機構(gòu),; Q—主支架,。
執(zhí)行標準:JB/T 8554-1997
技術(shù)參數(shù)
控制系統(tǒng):PLC+Windows系統(tǒng)
操作界面:彩色觸摸屏15寸,嵌入式工業(yè)電腦
樣品尺寸:長方體: 長 40~50mm,, 寬 30~45mm,, 高 6~20mm; 或圓柱體 φ (40~45)mm×(6~20)mm,;
樣品要求:試樣在溫度(20± 5)℃和相對濕度(50±10)%RH的條件下至少放置 8 h,, 然后按規(guī)定步驟測試只需很少的測試次數(shù)即可評價劃痕特性;
壓頭規(guī)格:按 GB/T 2848 規(guī)定的條件選擇金剛石壓頭(頂角 120°,, 頂端半徑 R 在 200 μ m± 5 μ m范圍內(nèi)),, 在不小于 40 倍的顯微鏡下檢測壓頭, 確認其頂端是光滑潔凈的球面,, 方可使用,。
劃痕速度: (10± 1)mm/min可在觸摸屏任意設(shè)置;
加載速率: 對硬質(zhì)薄膜為(20~40)N/min,;對非硬質(zhì)薄膜為(5~10)N/min,;極限壓力100N;
精度: 0.03 N,;
電機:伺服電機86型+驅(qū)動器;
運動模式:絲桿+導(dǎo)軌,,精度0.001mm,;
光學(xué)顯微鏡:50倍以上鏡片配置;
曲線圖:加載壓力,,恒定壓力,,摩擦力,垂直載荷關(guān)系圖,,XY關(guān)系圖,;
測試高度范圍:0-100mm;
測試模式:往復(fù)式運動,,可單線運動,,工業(yè)電腦觸摸屏上設(shè)置;
運動范圍:Y距離0-900mm,,Y距離0-540mm;
用電:220V,120W,20A,50hz,;
外形尺寸約:1000mm*600*640mm;
