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德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 六足位移臺 H-825.G2A
一、H-825.G2A六足位移臺產(chǎn)品特點：
1,、30公斤負載能力
2,、±27.5毫米直線行程，±11.5度旋轉行程
3,、X軸,，Y軸，Z軸方向位移0.25微米
4,、重復精度±0.1微米/±2微弧度
5,、搭載無刷直流電機和編碼器
二、H-825.G2A六足位移臺產(chǎn)品應用領域：
H-825.G2A六足位移臺主要應用領域為科研領域和工業(yè)領域,，用于微型裝配,，生物技術,，半導體制造，光學對準,。
三,、H-825.G2A六足位移臺產(chǎn)品參數(shù)：
行程參數(shù)：
主動軸：X，Y,，Z,，θX，θY,，θZ
X,、Y向上的行程：±27.5；±25毫米
Z向上的行程：±14毫米
θX,、θY向上的行程：±11.5,；±10.5度
θZ向上的行程：±19度
精度參數(shù)：
設計分辨率：0.008微米
X、Y和Z向上的位移：0.3,；0.3,；0.25微米
θX、θY,、θZ向上的位移：3.5,；3.5；4微弧度
X,、Y向上的空回：3微米
Z向上的空回：1微米
θX,、θY向上的空回：20微弧度
θZ向上的空回：25微弧度
X、Y向上的重復精度：±0.5,；±0.25微米
Z向上的重復精度：±0.1微米
θX,、θY向上的重復精度：±2微弧度
θZ向上的重復精度：±2.5微弧度
X、Y和Z向上的速度：2.5毫米/秒
θX,、θY和θZ向上的速度：27毫弧度/秒
X,、Y和Z向上的典型速度：2毫米/秒
θX、θY和θZ向上的典型速度：5.5毫弧度/秒
負載參數(shù)：
負載能力（底板為水平方向/任意方向）：30/10千克
保持力,，斷電（底板為水平方向/任意方向）：300/150牛
其他參數(shù)：
工作溫度范圍：-10到50攝氏度
質量：10千克
電機類型：無刷直流電機
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 六足位移臺 H-825.G2A
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