德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺,,10公斤負載,45毫米/25度行程,,0.3微米位移,,±0.1微米/±2微弧度重復精度,25毫米/秒運動速度,。
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 六足位移臺 六足臺 H-824.G2
一,、H-824.G2六足位移臺產(chǎn)品特點:
10公斤負載,45 毫米/25度行程,,0.3微米位移,,±0.1 微米/±2微弧度重復精度,,25毫米/秒運動速度。
二,、H-824.G2六足位移臺產(chǎn)品應用領域:
H-824.G2六足位移臺主要應用領域為顯微操縱,,生物技術,半導體制造,。
三,、H-824.G2六足位移臺產(chǎn)品參數(shù):
行程參數(shù):
主動軸:X,Y,,Z,,θX,θY,,θZ
X,、Y向上的行程:±22.5毫米
Z向上的行程:±12.5毫米
θX、θY向上的行程:±7.5度
θZ向上的行程:±12.5度
精度參數(shù):
促動器設計分辨率:0.007微米
X,、Y和Z向上的位移:0.3微米
θX,、θY,、θZ向上的位移:3.5微弧度
X,、Y向上的空回:2微米
Z向上的空回:0.7微米
θX、θY向上的空回:14微弧度
θZ向上的空回:17微弧度
X,、Y向上的重復精度:±0.25微米
Z向上的重復精度:±0.1微米
θX,、θY向上的重復精度:±2微弧度
θZ向上的重復精度:±2微弧度
X、Y和Z向上的速度:1毫米/秒
θX,、θY,、θZ向上的速度:11毫弧度/秒
Typ.X、Y和Z向上的典型速度:0.5毫米/秒
Typ.θX,、θY,、θZ向上的速度:5.5毫弧度/秒
負載參數(shù):
X、Y向上的剛性:1.7牛/微米
Z向上的剛性:7牛/微米
負載能力(底板為水平方向):10千克
負載能力(底板為任意方向):2千克
保持力(斷電,、底板為水平方向):100牛
保持力(斷電,、底板為任意方向):50牛
其他參數(shù):
電機類型:直流齒輪電機
工作溫度范圍:-10到50°C
材料:鋁
質量:8千克
電纜長度:3米
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 六足位移臺 六足臺 H-824.G2