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當前位置：北京漢達森機械技術有限公司>>光學儀器>>光學實驗設備>> P-541.XCD德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,電子/電池,綜合 |
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XCD
應用領域：
掃描顯微鏡
超分辨率顯微鏡
生物技術
掩模/晶圓定位
樣本定位
干涉測量
計量
產品參數：
型號：P-541.ZCD
主動軸：Z
集成傳感器：電容式
-20至120 伏時Z向上的開環(huán)行程：150微米
θX、θY向上-20至120 伏時的開環(huán)偏擺角：–毫弧度
Z向上的閉環(huán)行程：100微米
θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角：–毫弧度
Z向上的分辨率,，開環(huán)：0.2納米
θX,、θY向上的開環(huán)分辨率：–微弧度
Z向上的閉環(huán)分辨率：0.5納米
θX、θY向上的閉環(huán)分辨率：–微弧度
Z,、θX,、θY向上的線性誤差：0.03%
Z向上的重復精度：<2納米
θX、θY向上的重復精度：–微弧度
θX,、θY向上的串擾（Z向運動）：±15微弧度
產品參數：
型號：P-541.TCD
主動軸：Z,θX,θY
集成傳感器：電容式
-20至120 伏時Z向上的開環(huán)行程：150微米
θX,、θY向上-20至120 伏時的開環(huán)偏擺角：±0.6毫弧度
Z向上的閉環(huán)行程：100微米
θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角：±0.4毫弧度
Z向上的分辨率,，開環(huán)：0.2納米
θX,、θY向上的開環(huán)分辨率：0.02微弧度
Z向上的閉環(huán)分辨率：0.5納米
θX、θY向上的閉環(huán)分辨率：0.08微弧度
Z,、θX,、θY向上的線性誤差：0.03%
Z向上的重復精度：<2納米
θX、θY向上的重復精度：0.01微弧度
θX,、θY向上的串擾（Z向運動）：±15微弧度
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XCD
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