德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 六足位移臺(tái) 六足臺(tái) H-824.G2

一,、H-824.G2六足位移臺(tái)產(chǎn)品特點(diǎn)：

10公斤負(fù)載,，45 毫米/25度行程,，0.3微米位移,，±0.1 微米/±2微弧度重復(fù)精度，25毫米/秒運(yùn)動(dòng)速度,。

二,、H-824.G2六足位移臺(tái)產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：

H-824.G2六足位移臺(tái)主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)?/span>顯微操縱，生物技術(shù),，半導(dǎo)體制造,。

三、H-824.G2六足位移臺(tái)產(chǎn)品參數(shù)：

行程參數(shù)：

主動(dòng)軸：X,，Y,，Z，θX,，θY,，θZ

X、Y向上的行程：±22.5毫米

Z向上的行程：±12.5毫米

θX,、θY向上的行程：±7.5度

θZ向上的行程：±12.5度

精度參數(shù)：

促動(dòng)器設(shè)計(jì)分辨率：0.007微米

X,、Y和Z向上的位移：0.3微米

θX、θY,、θZ向上的位移：3.5微弧度

X、Y向上的空回：2微米

Z向上的空回：0.7微米

θX,、θY向上的空回：14微弧度

θZ向上的空回：17微弧度

X,、Y向上的重復(fù)精度：±0.25微米

Z向上的重復(fù)精度：±0.1微米

θX、θY向上的重復(fù)精度：±2微弧度

θZ向上的重復(fù)精度：±2微弧度

X,、Y和Z向上的速度：1毫米/秒

θX,、θY、θZ向上的速度：11毫弧度/秒

Typ.X,、Y和Z向上的典型速度：0.5毫米/秒

Typ.θX,、θY、θZ向上的速度：5.5毫弧度/秒

負(fù)載參數(shù)：

X,、Y向上的剛性：1.7牛/微米

Z向上的剛性：7牛/微米

負(fù)載能力（底板為水平方向）：10千克

負(fù)載能力（底板為任意方向）：2千克

保持力（斷電,、底板為水平方向）：100牛

保持力（斷電,、底板為任意方向）：50牛

其他參數(shù)：

電機(jī)類型：直流齒輪電機(jī)

工作溫度范圍：-10到50°C

材料：鋁

質(zhì)量：8千克

電纜長度：3米

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