真空旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀是一種實(shí)驗(yàn)室中常用的薄膜制備設(shè)備,,其主要原理是通過(guò)控制溫度和壓力,使樣品在真空環(huán)境下發(fā)生汽化,、蒸發(fā)和凝華過(guò)程,,從而在基底上形成均勻的薄膜。
真空旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀的工作原理:
1,、真空環(huán)境的維護(hù)
真空環(huán)境是其起作用的前提,,因?yàn)橹挥性谡婵窄h(huán)境下,樣品才能脫離外界干擾無(wú)干擾地進(jìn)行汽化,、蒸發(fā)和凝華,。所以,,真空系統(tǒng)是最關(guān)鍵的部分,其作用就是維持一個(gè)足夠的真空度,。真空系統(tǒng)一般由機(jī)械泵,、分子泵、油漆泵和高真空閥門(mén)等部分組成,,常常需要多種真空泵協(xié)同工作才能維持足夠的真空度,。
2、樣品的蒸發(fā)
樣品的蒸發(fā)是最核心的步驟,。樣品在真空環(huán)境下通過(guò)旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器的旋轉(zhuǎn)和采用特制的坩堝加熱件的方式使樣品發(fā)生汽化,、蒸發(fā)和凝華,通過(guò)這個(gè)過(guò)程可以逐漸形成薄膜,。此外,,蒸發(fā)時(shí)間、溫度和壓力的控制是決定薄膜性質(zhì)的關(guān)鍵因素之一,。
3,、旋轉(zhuǎn)的作用
旋轉(zhuǎn)的主要作用是使樣品均勻地蒸發(fā)。在樣品不斷蒸發(fā)的過(guò)程中,,旋轉(zhuǎn)和坩堝加熱件不斷地將已經(jīng)蒸發(fā)出來(lái)的物質(zhì)從樣品移走,,從而保證樣品一直處于新鮮的狀態(tài),從而使薄膜的厚度更為均勻,。
4,、薄膜的質(zhì)量控制
為了更好地控制薄膜的質(zhì)量,在制備薄膜的過(guò)程中需要對(duì)各種參數(shù)進(jìn)行控制,。一方面需要控制加熱坩堝的溫度,,以保持樣品的溫度在合理的范圍內(nèi),從而達(dá)到蒸發(fā)的效果,。另一方面,,在蒸發(fā)的過(guò)程中需要控制真空度,以保證樣品蒸發(fā)而不會(huì)遇到干擾,,從而獲得更為均勻的薄膜,。
總之,真空旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀的工作原理是通過(guò)控制溫度和壓力,,維持真空環(huán)境的穩(wěn)定,,并通過(guò)旋轉(zhuǎn)和采用特制的加熱坩堝控制蒸發(fā)分子的方向,從而在基底上形成均勻的薄膜,。在實(shí)際的應(yīng)用中,,需要注意對(duì)各種參數(shù)進(jìn)行精準(zhǔn)控制,以保證薄膜的質(zhì)量。