虹科 ALE/1C光刻UV-LED曝光系統(tǒng)是一種用于多用途工業(yè)應(yīng)用的高強(qiáng)度非相干點(diǎn)光源。 它基于 UV-LED 技術(shù)，與傳統(tǒng)的高壓汞放電燈相比具有多種優(yōu)勢(shì),，例如降低功耗和發(fā)熱、延長(zhǎng)使用壽命以及減少整體設(shè)置維護(hù),。

ALE/1C – UV-LED 曝光系統(tǒng)建立在平臺(tái)概念之上,，在其光路中最多可組合三個(gè) UV-LED 發(fā)射器。 這些光源通常用于光刻工藝(半導(dǎo)體制造)和工業(yè)光固化應(yīng)用,。

●內(nèi)置實(shí)現(xiàn)高效率和性能

●無(wú)汞設(shè)計(jì),，未來(lái)可持續(xù)

實(shí)現(xiàn)最佳OEM集成的分段設(shè)計(jì)配置

ALE/1C 光源遵循分布式設(shè)計(jì)方法，通常由一個(gè)控制子系統(tǒng) (CSS) 和一個(gè)或多個(gè)獨(dú)立的曝光子系統(tǒng) (ESS) 組成,，非常緊湊,，但功能極其強(qiáng)大：我們的 UV-LED 曝光頭的這種設(shè)計(jì)原理實(shí)現(xiàn)輕松直接集成到您的設(shè)備中,。 此曝光子系統(tǒng)發(fā)出的光可以與各種可用的光管,、光導(dǎo)和其它(定制的)光學(xué)器件結(jié)合使用。

控制子系統(tǒng)(CSS)

有兩個(gè)版本的 CSS 可用：獨(dú)立單元和 4U 19″ 機(jī)架安裝單元,。 兩個(gè) ALE/1C CSS 版本都具有相同的控制接口,、冷卻系統(tǒng)連接器和系統(tǒng)狀態(tài)指示燈。 此外,，機(jī)架安裝版本在前面提供了一個(gè)曝光測(cè)試鑰匙開(kāi)關(guān),，無(wú)需外部控制信號(hào)即可激活光輸出。

曝光子系統(tǒng)(ESS)

ALE/1C 光引擎是光管耦合點(diǎn)光源,。 該系統(tǒng)具有緊湊的曝光子系統(tǒng) (ESS),，可以輕松集成到您現(xiàn)有的設(shè)備(改裝)或新設(shè)計(jì)中。 這個(gè) UV-LED 光引擎連接到一個(gè)單獨(dú)的控制子系統(tǒng) (CSS),，提供控制和驅(qū)動(dòng)固態(tài)發(fā)射器以及所有必需的光學(xué)組件所需的所有硬件和軟件,。

出光選擇與光學(xué)元件

我們提供一系列可與 ALE/1C ESS 結(jié)合使用的柔性液態(tài)光導(dǎo)、光管,、勻化器和聚光光學(xué)器件,。 如果您需要遠(yuǎn)距離傳輸高功率輻射、提高均勻性或想要調(diào)整輸出輻射的準(zhǔn)直角,，這些組件特別有用,。 請(qǐng)查看我們的光學(xué)優(yōu)化頁(yè)面了解更多信息。

標(biāo)準(zhǔn)光刻配置：365 nm, 405 nm, 435nm

我們的標(biāo)準(zhǔn) ALE/1C 設(shè)置將 UV-LED 發(fā)射器與汞光譜的 i,、h 和 g 線(xiàn) (365 / 405 / 435 nm) 附近的峰值波長(zhǎng)相結(jié)合,。 無(wú)論您是想在不更換濾光片的情況下切換波長(zhǎng)、自定義輸出光譜的組成，還是想利用非常強(qiáng)烈的寬帶曝光,，我們的 ALE/1C 都能為您提供 350 至 450 光譜范圍內(nèi)的最高 UV-LED 輻射輸出

我們的 ALE/1C 的總輸出功率高達(dá) 40 W 或在冷卻回路中添加外部冷卻器時(shí)高達(dá) 50 W,。

ALE/1C 光刻UV-LED曝光系統(tǒng)的光譜組成有多種選擇。 最多可組合 3 個(gè) LED 模塊：

• 近紫外（365,、385,、405、435 nm）,、

• 可見(jiàn)光（470,、520、620,、660,、690 nm）

• NIR-LED （730、770,、810,、850、970 nm）