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薄膜介電常數(shù)測(cè)試儀的測(cè)試順序
先要詳細(xì)了解配用Q表的使用方法,,操作時(shí),,要避免人體感應(yīng)的影響,。
- 把配用的Q表主調(diào)諧電容置于小電容量,微調(diào)電容置于-3pF,。
- 把本測(cè)試裝置插到Q 表測(cè)試回路的“電容”兩個(gè)端子上,。
- 配上和測(cè)試頻率相適應(yīng)的高Q值電感線圈
- 調(diào)節(jié)平板電容器測(cè)微桿,使二極片相接為止,,讀取刻度值記為DO。
- 再松開二極片,,把被測(cè)樣品插入二極片之間,,調(diào)節(jié)平板電容器,,到二極片夾住樣品止(注意調(diào)節(jié)時(shí)要用測(cè)微桿,以免夾得過緊或過松),,這時(shí)能讀取新的刻度值,,記為D1,這時(shí)樣品厚度D2= D1-D0,。
- 把園筒電容器置于5mm處,。
- 改變配合Q表頻率,使之諧振,,讀得Q值,。
- 先順時(shí)針方向,后逆時(shí)針方向,,調(diào)節(jié)園筒電容器,,讀取當(dāng)Q表指示Q值為原值的一半時(shí)測(cè)微桿上二個(gè)刻度值,取這二個(gè)值之差,,記為M1,。
- 再調(diào)節(jié)園筒電容器,使Q表再次諧振,。
- 取出平板電容器中的樣品,,這時(shí)Q表又失諧,調(diào)節(jié)平
板電容器,,使再諧振,,讀取測(cè)微桿上的讀值D3,其變化值為
D4= D3-D0,。
- 和h款操作一樣,,得到新的二個(gè)值之差,記為M2,。
3. 計(jì)算測(cè)試結(jié)果
被測(cè)樣品的介電常數(shù):
Σ=D2 / D4
被測(cè)樣品的損耗角正切值:
tgδ=K(M1-M2 )/ 15.5
式中:K為園筒電容器線性變化率,,一般為0.33 / mm,每個(gè)測(cè)試夾具在盒蓋內(nèi)標(biāo)有具體數(shù)值,。
一般按以上公式計(jì)算的結(jié)果,,其精度和重復(fù)性是能滿足的,但對(duì)介電常數(shù)大的被測(cè)樣品(即樣品從平板樣品放入和取出,,平板電容器刻度值變化較大),,邊緣效應(yīng)電容對(duì)測(cè)試會(huì)有較顯著的影響,這時(shí)可按下列公式計(jì)算:
Σ=(C2 + CF2-CF)/ C1
tgδ=K(M1-M2 )/ 3.46(C2 + CF2-CF)/ C1
使用方法
使用本測(cè)試裝置和Q表配用,,對(duì)絕緣材料以及其他高阻性能的薄材,,列如:紙張、木材、粉壓片料等,,進(jìn)行相對(duì)測(cè)量,,其測(cè)試方法就非常簡(jiǎn)便、實(shí)用,,采取被測(cè)樣品和標(biāo)準(zhǔn)樣品相比較方法,,就能靈敏地區(qū)別二者之間的輕微差別,例如含水量,、配用原料變動(dòng)等等,。
測(cè)試時(shí)先把標(biāo)準(zhǔn)樣品放入平板電容器,調(diào)節(jié)Q表頻率,,諧振后讀得Q值,,再換上被測(cè)樣品,調(diào)節(jié)園筒電位器,,再諧振,,看Q值變化,如Q值變化很小,,說明標(biāo)準(zhǔn)樣品和被測(cè)樣品高頻損耗值一致,,反之說明二者性能有區(qū)別,如園筒電容器調(diào)節(jié)不能再諧振,,通過調(diào)節(jié)Q表頻率才能諧振,,且頻率變化較大,說明被測(cè)樣品和標(biāo)準(zhǔn)樣品的配用原材料相差較大,。
本測(cè)試裝置是由精密機(jī)械構(gòu)件組成的測(cè)微設(shè)備,,所以在使用和
保存時(shí)要避免振動(dòng)和碰撞,要求在不含腐蝕氣體和干燥的環(huán)境中使用和保存,,用戶不能自行拆裝,,否則其工作性能就不能保證,如測(cè)試夾具受到碰撞,,或者作為定期檢查,,要檢測(cè)以下幾個(gè)指標(biāo):
- 平板電容器二極片平行度不超過0.02mm。
- 園筒電容器的軸和軸同心度誤差不超過0.1mm,。
- 保證二個(gè)測(cè)微桿0.01mm分辨率,。
用精密電容測(cè)量?jī)x(±0.01pF分辨率)測(cè)量園筒電容器,電容呈線性率,,從0~20mm,,每隔1mm測(cè)試一點(diǎn),要求符合工作特性要求,。
- 平板電容器
極片尺寸:φ25.4mm
極片間距可調(diào)范圍和分辨率:≥10mm,,±0.01mm
- 園筒電容器
電容量線性:0.33pF / mm±0.05 pF
長(zhǎng)度可調(diào)范圍和分辨率:≥0~20mm,,±0.01mm
3. 夾具插頭間距:25mm±1mm
4. 夾角損耗角正切值:≤4×10-4(1MHz時(shí))