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一,、產(chǎn)品概述

頤光科技橢偏檢測(cè)機(jī)臺(tái)作為一種小型橢偏集成機(jī)臺(tái)，通過(guò)整體高度模塊化,，電,、氣路集成技術(shù)，實(shí)現(xiàn)不同橢偏測(cè)量模塊在線/離線式整體橢偏測(cè)量解決方案,。

二,、特色功能

1、支持實(shí)驗(yàn)室研究整體橢偏集成控制測(cè)量技術(shù),；

2,、支持產(chǎn)線大基片離線自定義多點(diǎn)掃描測(cè)量并輸出報(bào)告；

3,、支持多橢偏方案,，多組合集成；

4,、支持測(cè)頭模塊以及樣件機(jī)臺(tái)定制化,。

三、應(yīng)用場(chǎng)景 

應(yīng)用于科學(xué)研究中各種各向同性,，異性薄膜材料的膜厚,、光學(xué)常數(shù)以及一維、二維納米光柵的結(jié)構(gòu)表征,；工業(yè)領(lǐng)域新型光電器件行業(yè)所涉及的薄膜（配向膜,、光刻膠,、ITO、發(fā)光薄膜,、封裝薄膜）全片離線化快速掃描測(cè)量,。

參考設(shè)計(jì)方案

高度整合橢偏技術(shù)方案

集成橢偏儀規(guī)格