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一、概述

SE-Vi 是一款集成式原位光譜橢偏儀,，針對(duì)有機(jī)/無(wú)機(jī)鍍膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測(cè)中的定制化開發(fā),，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。

二,、測(cè)試案例

成膜工藝監(jiān)控

膜厚表征

三,、產(chǎn)品應(yīng)用

光譜橢偏儀廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機(jī)薄膜,、無(wú)機(jī)薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積,，ALD沉積等光學(xué)薄膜工藝過(guò)程中實(shí)際原位在線監(jiān)測(cè)并實(shí)時(shí)反饋測(cè)量物性數(shù)據(jù)。

四,、技術(shù)參數(shù)

頤光科技注冊(cè)于武漢東湖國(guó)家自主創(chuàng)新示范區(qū),，立足光谷，面向,，為用戶提供光學(xué)散射測(cè)量?jī)x等系列產(chǎn)品,，并提供儀器、軟件,、服務(wù)等綜合解決方案,。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)體,、光伏太陽(yáng)能,、平板顯示、LED照明,、存儲(chǔ),、生物、醫(yī)藥、化學(xué),、電化學(xué),、光學(xué)鍍膜和保護(hù)膜、減反膜,、光刻材料等眾多領(lǐng)域,。